高功率二极管激光器模块式微通道冷却器研制研究.pdfVIP

高功率二极管激光器模块式 微通道冷却器研制 吕文强，涂波，魏彬，武德勇，高松信 (中国工程物理研究院应用电子学研究所，四川绵阳621900) 摘要：针对高功率二极管激光器(DL)的散热需求，对不同结构的微通道冷却器进行J，模拟散热计 算，优化r冷却器的结构参数。冷却器采用Cu．WCu合金复合结构，由多层金属片焊接而成，其内部散热 片采用具有高热导率的无氧铜制作，一k、下表面采用硬度高，热导率也较高的WCu合金制作。这种结构 不仅避免r无氧铜较软，面形和棱边质量难控制的缺点，还可提高冷却器的强度，使冷却器可以做得较薄。 冷却器外形Jt寸为25mm(长)×12mm(宽)X DL可以用作高·F均功率DPL的泵浦源。 关键词： 微通道冷却器二维叠阵 一、引言 二极管激光器(DL)以其体积小，电一光效率高，寿命长等优点在军事，．1：业，医疗等 领域获得了广泛的应用。随着DL输出功率的提高，高效冷却技术成为制约高功率二极管 激光器封装的重要冈素。近年来高平均功率二极管泵浦激光器(DPL)的发展对二极管激 光器的封装技术提出了更高的要求，不但要求高的平均功率，还要求高的功率密度。对不 同结构的微通道冷却器进行了模拟散热计算和实验测试，优化了冷却器的结构参数。研制 极管激光器的散热需求，堆叠的二维叠阵DL可以用作高平均功率DPL的泵浦源。 二、微通道冷却器散热模型 铜微通道冷却器的优点之一是有效利用Cu的高热导率，冷却水距离DL芯片近，使冷 却效率高，即热阻小。冷却器上下2个表面冷却效率相等冷却结构对称，可以降低冷却器 制作的次品率，适合批量生产。 件下焊接而成。在微通道冷却器的散热区域加载与二极管激光器芯片热功率相当的热源， 用来模拟冷却器的散热。微通道冷却内部通道多，为并联冷却结构。可以忽略通道排列方 向的热传导。热源的热功率全部由冷却器水带走。建立2维的散热模型，如图1所示。 一53— o．31- }[一 ‘ 乱3[ 一 StrUctureheatsmk structureheatsiuk (a)Cu—WCu (b)Cu modelofmicro-channelcooler Figlcooling 图1微通道冷却器散热模型 化如图3所示。由图3可以得到，当冷却齿长人丁．2mm后，冷却器热阻不会有较大的变化， 0．48K／W。全Cu结构冷却器由数值计算得到热阻为0．50K／W。 08 O7 06 ；、)I／9笮g}s譬_霉工 05