高反射膜的工艺研究及应用研究.pdfVIP

第七届广东省真空学会学术研讨会论文集 高反射膜的工艺研究及应用 卢志坚 (广州志坤光电科技有限公司) ^．jJ一·-h U月lJ舌 高反射膜是一种应用非常广泛的重要光学薄膜，在大都数的情况下，对反射膜的要求就是 工作光谱内反射率尽可能的高，而在某些特殊场合，不仅要求反射率很高，而且还要求薄膜的 吸收很小，因为透射光仍然有用处。对于这两种不同的用场，我们把高反射膜分为金属和介质 的两大类。 1金属分光膜 1．1金属膜的一些特性 这类反射膜在光学仪器中的反射镜上应用的较多，常用的膜料有：银(Ag)、铝(A1)、 金(Au)、铜(Cu)等。这些金属膜的折射率是复数，用n．ik来表示。图1是常用金属镀制的 反射膜的光谱特性。 肿 和幻 ∞阮弱轴鼬 肋 膨 0．2 口·5醇眵礞6吖碡器浒，啦 2 5 乒岁6，艿多，a入c从) 图l 几种新镀的金属反射膜的反射率曲线 从图1可以看出，铝膜在整个宽广的波长范围内，具有较高的反射率，并且具有相当高的 应用强度。铝膜是紫外到红外都有很高反射率的唯一材料。铝反射膜比较稳定，这是由于铝膜 表面在大气中能生成一层薄的氧化铝(A1203)，铝膜暴露于大气后所形成的三氧化二铝的厚度 为4nm．。正因为此，铝膜应用得非常广泛。 银膜在可见区和红外区都有很高的反射率，而且在倾斜使用时的偏振效应也最小。但是， 银膜与基片的粘附性很差，同时易受空气中的硫化物影响，产生硫化物而使其失去光泽。镀制 28 高反射膜的工艺研究及其应用 银膜时，常用A1203作基片与银膜、银膜与保护膜Si02之间的过渡层。 金膜在红外区的反射率很高，但在可见区的反射率迅速下降，所以，金膜通常在波长超过 700m u以后才采用。金膜的强度和稳定性都比银膜好，常用于红外反射镜。由于金膜与玻璃基 片的附着性较差，在金膜与玻璃基片之间常用铬(cr)膜或镍(Ni)膜作为衬膜。 另外，还有铑(Rh)和铂(Pt)由于反射率远低于上几种的金属，只对抗腐蚀有特殊要求 的情况下才使用它们，这两种金属膜在玻璃基片上均有很强的附着力。 1．2金属膜的保护 由于多数金属膜都比较软，容易损坏，而且容易受大气的侵蚀，所以，常常在金属膜的外 面加镀保护膜。如图2，设光线在空气与折射率为nl的保护膜界面的反射系数为rl，由保护膜 到金属界面的反射系数为r2，当光线垂直入射时： r1 ， no ＼／ ＼ ≯r2 、 111 n· ∥ ∥ n。 r2eo矽= n2+(n—jk) 图2 式中，n、k为金属膜的折射率和消光系数。1lr是保护膜到金属界面的位相变化。 2nlk 1l，2 tg n12一n2一k2 反射膜的反射系数为： 6—1lr) r1+rze—j(2 =