Measurement of optical mirror with a small-aperture interferometer研究.pdfVIP

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2018-01-06 发布于广东
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Measurement of optical mirror with a small-aperture interferometer研究.pdf

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Front．Optoelectron．2012，5(2)：218-223 D0I10．1007／s12200．012—0233—6 Measurementofo liCCaaIlmirrorwiitthllas~mmaall-aappeerrttuurree interferometer YaGAO ，HonYuenTAM ，YongfuWEN ，HuijingZHANG ，HaoboCHENG(函) 1SchoolofOptoelectronics，BeijingInstituteofTechnology,Beijing100081，China 2DepartmentofM anufacutringEngineeringandEngineeringM anagement，CityUniversityofHongKong，HongKong，China ◎ HigherEducationPressandSpringer—VerlagBerlinHeidelberg2012 Abstraet In thisPaDer．the principle of subapermre mirrorbymeansofautocollimationwithsmalldiameter stitching interferometrywasintroduced．A testing stage flatmirrorarrayinsteadoflargediameterfiatmirror5『1． withfivedegreesofrfeedom forstitchinginterferometry AndChow na dLawrencepresentedamethod to stitch wasbuilt．A modelbasedon least．squaresmethodand subaperturesimultaneouslybyZemikepolynomialsfitting erroraveraging method ofrdataprocessing wasestab— algorithm 6『1．Then，Hainautand Ertezaused filter lished．which could reduce error accumulation and techniquesofrthedataprocessing ofstitching interfero— improve the precision．A 1001TI1TIplane m irror was metry 7『1．Moreover,Catanzaroeta1．testedthe3．5m measured with a 50mm aperture interferometer by telescope ofHerschelSpace by means of stitching meansofstitching interferometry．Compared with the interferometryin20018『1．In2004，DavidReddingtested resultsbyal00mininterferometer,peaktovalley (PV) JamesWelbbSpaceTelescopesystem ． androotmeansquare(RMS)ofthephasedistribution In China，researchofsubaperturestitchinginterferom— residualare0．00382and0．00042．respectively．Itproved etertechnologybeganinthe1990s．now thereareseveral thatthemodelandmethodarehelpfulofrlargeoptical laboratoricsworkingonthisfield．Buttherearefew reports m easurem ent． abouttestingand erroranalysisoflargediameterplane