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光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制-中南大学学报.PDFVIP

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  • 2018-01-27 发布于天津
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光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制-中南大学学报.PDF

    光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制-中南大学学报

    46 9 ( ) Vol.46 No.9 2015 9 Journal of Central South University (Science and Technology) Sep. 2015 DOI: 10.11817/j.issn.1672-7207.2015.09.011 1 1 2 1 (1. 150001 2. 266071) (PTC)(ESO)

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