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现代材料分析方法6-9章

* 二、电子衍射花样的种类 单晶体 多晶体 非晶体 * 三、电子衍射的特点 ②电子衍射条件可以略为偏离布拉格方程条件; ①电子衍射的衍射角θ很小; ④电子衍射的曝光时间比较短,仅需数秒。 ③电子衍射花样能够比较直观地反映晶体内各晶面的位向; * 9.2 电子衍射原理 一、倒易点阵与爱瓦尔德球图解法 从正点阵的原点o出发,向某晶面做垂线,即(hkl)的法线,在该法线上取一点Phkl,使op=1/dhkl,则P点为倒易点。所有正点阵晶面的倒易点组成了倒易点阵。 1、倒易点阵定义: 2、倒易点阵的作用: 将晶体的点阵结构与其电子衍射斑点直接联系在一起。电子衍射斑点就是与晶体相对应的倒易点阵中某一截面上阵点排列的像。 * 3、倒易点阵与正点阵的关系 ①倒易点阵中的一个点代表的是正点阵中的一组晶面; ②倒易矢量的长度等于正点阵中相应晶面间距的倒数,即 ghkl=1/dhkl; ③倒易矢量的方向垂直于正点阵中相应晶面,或与正点阵中相应晶面的法线平行。 * 二、爱瓦尔德球图解法 1、爱瓦尔德球的画法: ①以电子波的波长倒数为半径画球面; ②将衍射晶面置于球心o的位置; * 2、爱瓦尔德球的用途: 在倒易点阵中,倒易阵点与原点o*的连线所构成的矢量代表正点阵空间中的一组晶面(hkl),矢量的长度等于晶面间距的倒数,方向代表法线方向。 * 电子衍射与x射线衍射比较 ③能够在同一试样上把形貌观察与结构分析结合 起来。(可进行选区衍射)。 优势: ①电子波长短,θ小,入射束、衍射束近乎与衍射晶面平行,使电子衍射分析过程更为简单,其晶体几何关系的研究比x射线衍射要简单、直观; ②物质对电子的散射作用很强,电子束穿透物质的能力下降。电子衍射只适于材料表层或薄膜样品的结构分析; * 电子衍射与x射线衍射比较 ③分析精度不如x射线衍射。 不足: ①电子束与原子作用散射强度大于x射线的作用,衍射束与透射束强度相当,两者产生交互作用,使得电子衍射线束强度分析复杂; ②薄膜样品制备复杂; * 线扫描分析 * (3)面扫描分析 电子束在试样表面进行面扫描,谱仪只检测某一元素的特征x射线位置,得到由许多亮点组成的图像。亮点为元素的所在处,根据亮点的疏密程度可确定元素在试样表面的分布情况。 * 面扫描分析 亮区代表元素含量高,灰区代表元素含量较低,黑色区域代表元素含量很低或不存在。 * 第8章 透射电子显微镜 Transmission electron microscope * 引言 TEM用聚焦电子束作照明源,使用对电子束透明的薄膜试样,以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。 电子光学应用的最典型例子是TEM ,它是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。 * Philips CM12透射电镜 加速电压20、40、60、80、100 、 120KV LaB6或W灯丝 晶格分辨率 2.04? 点分辨率 3.4? 最小电子束直径约2nm; 倾转角度α=±20度 ??????? β=±25度 CEISS902电镜 加速电压50、80KV W灯丝 顶插式样品台 能量分辨率1.5ev 倾转角度α=±60度 * 加速电压200KV LaB6灯丝 点分辨率 1.94? JEM-2010透射电镜 加速电压20、40、60、80、100 、 120KV 晶格分辨率 2.04? 点分辨率 3.4? 最小电子束直径约2nm 倾转角度α=±60度 ????? ?? β=±30度 EM420透射电子显微镜 * 分 辨 率:0.34nm 加速电压:75-200KV 放大倍数:25万倍 日立H-700投射电镜 * 8.1 透射电子显微镜的结构 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 * 电子光学系统组成及作用:电子光学系统通常也称镜筒,是透射电子显微镜的核心。它分为三部分,即照明系统、成像系统和观察记录系统。 组成:它由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。 * 8.1.1 照明系统 作用:提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 组成:由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。 * (1)电子枪 作用:电子枪的重要性仅次于物镜。会聚电子束、控制电子束电流大小、决定像的亮度、图像稳定度和穿透样品的能力。 组成:由阴极、阳极和控制极组成,决定着电子发射的数目及其动能,习惯通称为“电子枪”。 * 阴极 又称灯丝,一般由0.03~0.1mm钨丝作成V或Y形状。 * 阳极 加速从阴极发射出的电子。 为了操作安全

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