PECVD法制备TiN功能薄膜的研讨.pdfVIP

中国电机丁程学会高压专业委员会高电压新技术学组2006年学术年会 PECVD法制备TiN功能薄膜的研究 但敏，李斌，陈枫，郭爱波，刘玉萍，刘明海，胡希伟 (华中科技大学电气与电子工程学院，武汉430074) ofTiNfunctionalFilmsPECVD Deposition by Dan Xiwei min，LIbin，Chen Aibo，Liu feng，Guo Yuping，LiuMinghai，Hu ofElectricalandElectronic ofScienceand (College Engineering，HuazhongUniversity 43007