ENEPIG表面涂覆工艺的可靠性实验分析.pdfVIP

31 5 第31卷第5期 实验室研究与探索 Vol No 201 2年5月 RESEARCHANDEXPI．ORATIONINLABORATORY May．2012 ENEPIG表面涂覆工艺的可靠性实验分析 于金伟 (潍坊学院，山东潍坊261061) 摘要：在ENEPIG表面涂覆工艺4-引入了化学镀钯层，从反应原理上杜绝了镀镍层的氧化，但其实际 应用的工艺条件及参数是否具备了可量产的条件，需要用一系列可靠性实验进行验证，以减小量产后的 风险系数。提出了一揽子实验方案，包括实验项目、方法、试验所需的仪器设备、评估要求、试验结果及 分析等，特别是采用透射电镜对ENEPIG涂覆层与SAC305形成的界面合金共化物进行了剖析，从而验 证了所应用的ENEPIG制作工艺成熟可靠，是全能型的表面涂覆工艺，特别适用于金