可见红外双波段阵列式滤光片设计与制作工艺研究.pdfVIP

下载本文档

28
0
约1.14万字
约 3页
2018-04-07 发布于北京
举报
版权申诉

可见红外双波段阵列式滤光片设计与制作工艺研究.pdf

1、本文档共3页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第36卷，增刊红外与激光工程 2007年6月 Il[1|mdandL2Lser Jun．2007 、，01．36Supplement Engineering 可见／红外双波段阵列式滤光片设计与制作工艺研究梁华锋1一，赖建军L2，周光超2，李小平1 (1．华中科技大学武汉光电国家实验室，湖北武汉430074； 2．华中科技大学光电子科学与工程学院，湖北武汉430074) 摘要：双波段阵列式滤光片是集成式可见，红外双波段传感器的核心部件，分别采用干涉截止滤光方法和干涉吸收滤光法设计了蓝宝石衬底上红外和可见光波段的滤光膜系，实际测量两个波段的滤光膜的平均透过率均达到90％以上。同时采用光刻、电子束蒸发镀膜和剥离工艺完成了滤光片的制作。关键词：微型滤光片阵列；剥离工艺；双波段中图分类号：TN215文献标识码：A and ofVisible／infrareddual-bandmicr0-6lter Designfabricating array LL必G Jian_junl，_，zHOU Hua—fen91，_，LAJ Guang—cha02，LI)(ia0．pin91 for Science柚d 30074，ClIilla； (1．Wuh姐NationalLaboratoryOptoelec仃onics，HuazhongUIliV鲥si哼of TecllIlology’WIItlaIl4 2．schoolof sciencc釉d scienceand ol脚∞nics Engine舐ng，Hllazhonguniv硪s埘of Techn0109y?帆h缸430074．china) dual-balld of CCDsensor． Abstract：Ⅵsibl吖inf妇dm嘧an-ayismekeycomponentdual-baIId filter for Interf色rencecut—of!ffiltera11dinterference havebeendesignedinf}aredandvisible absorbing pass of to on channel transmittancebotllchannelswas beabove90‘殇．Based respectivelV．Theaverage designed t11e fllm aswellas mldliR—of!f e-be锄eVaporatingdepositionopticalprocess photolimographyprocesses， dual_bandmicro—filterwim was f拍ricated． array200dperfb姗ancesuccessfuny wOrds：Micro—fllterLift-of!f