箱体式低压真空等离子体表面处理——在非织造过滤产品上应用研究.pdfVIP

箱体式低压真空等离子体表面处理 一一在非织造过滤产品上应用 摘要 在气体过滤和液体过滤中，过滤介质的技术要求越来越高，真空等离子体表面涂层工艺对处理过 滤介质具有独特的优越性，符合技术要求。 以技术产品HEPA过滤产品为例：用于汽车空气进人过滤和柴油过滤，以及消耗产品具有99％渗 透效率的口罩。 本篇介绍了等离子体涂层表面处理过滤介质，重点分析涂层工艺的经济性。 导言 ’从上世纪八十年代起，低压真空等离子体技术已经在工业上应用。起初应用在印刷电路板清洁 和刻蚀方法去污。九十年代应用到工程塑料，油漆前用氧气来激活聚合物表面，使表面具有润湿性， 增加和油漆、粘结剂和油墨的亲和力，因此，在家用电器、汽车工业、手机工业有了应用，以便用可回收 的PP材料来替代ABS以及油漆多种色彩，以增加塑料的美观。 在无纺布工业应用到过滤材料和薄膜，通过等离子体表面处理达到亲水或疏桕拒油性能，典型 的涂层只有纳米级厚度，聚合在被处理物的表面上。在血液过滤、防尘口罩、空调过滤、汽车工业、柴 油过滤、厚层空气过滤以及电池工业、电池隔板都有广泛的应用。 1．低压真空等离子体技术 工艺气体在足够低的压力和能获得足够电磁能量下，气体变成等离子体态，称为物质第四态，在 等离子体态，气体部分分解成基团和原子，并且部分电离化，根据电磁能的频率不同，要达到高密度带 电粒子平稳状态，应具有不同的真空低压范围。 率范围，工作气体压力应在0．5—1mbar，为了达到等离子体表面处理，其真空压力应低于1E一0． 2mbar。 应用二级泵来抽真空，第一级用回转叶泵或用于泵，第二级用罗茨机械增压泵。 根据应用基团，或应用分裂成原子气体等离子体粒子或带电粒子允许撞击处理物表面而定等离 子体的模式，第一种模式称为化学等离子体、软等离子体、二次等离子体、余辉等离子体。第二种模式 称为物理等离子体、硬等离子体、一次等离子体、两种模式与工作室的几何形状机械结构有关，模式的 选择，根据实际达到确切效果和被处理物类型而定。 2．箱体式低压真空等离子体表面处理设备 任何等离子体处理设备有真空工作室和一组真空泵，在真空工作室与泵组之间有阀门隔断和连 85 接。还有一组流量控制器和阀门，以便控制气体的流入量，在工作室内有一组或多组电磁高频发生 器，压力测量表、热电偶等，所有设备可由PLC或PC电脑来控制。 在装载系统中，可以设计成各种形状，这种装载系统中可以是一组托盘(tray)或者一组卷绕系统， 以便卷绕布匹、无纺布或者薄膜，称为卷对卷(Roll—to—Roll)装置。 CD一1800／600 图1 Europlasma Roll卷对卷等离子体表面处理设备用于激活和涂层无纺布和薄膜 根据需要量身定制。 3．等离子体技术在过滤工业中应用 3．1汽车用高面密度无纺布，用作空气过滤 主要是利用等离子体聚合作用达到涂层沉积，应用到过滤工业中，等离子体涂层实例是用在汽车 工业，高面密度涤纶无纺布作为过滤介质，这种介质重量为5009／m2。要求不能吸收水份，经等离子体 涂层处理与未经处理吸水性能比较。 样品首先浸入水中22小时，然后垂直方向让水滴出，随时间x一轴而称重。 通过测量样品的重量增加，由重力作用而决定水份吸收量。 从图中可以看到，经等离子体涂层处理提高了拒水作用，吸收少于10％的本身水重，而未经涂层 处理的样品，吸收水的重量增加量超过其本身重量的17倍。 86 图2由重力测量定重5009／m2，涤纶无纺布过滤介质，比较等离子体涂层处理与否，水份吸收数据。 此例说明，无纺布厚度约10mm，经等离子体有效涂层达到打开无纺布分子的结构，在先驱气体作 用下，在分子标度上发生了化学作用，也说明得到了非常低的水吸收量。 3．2口罩 空气过滤应用等离子体表面处理，在口罩和HVAC系统中应用，这些过滤介质是经驻极的多层 PP熔喷无纺布，使过滤油性粒子效率大大提高，在驻极之前，应用拒水／拒油等离子体涂层处理，以氟 气来进行涂层，用于3M口罩，拒油等级达到3—4级(AATCC测试方法118—1997)。 图3 PP熔喷无纺布拒油涂层 87