PG201419空气悬浮粒子操作规程.docxVIP

目的 阐述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操作。范围 适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作责任部门 生产部、品管部。4.内容4.1仪器：根据DT-9880尘埃颗粒物粒子计数空气质量检测仪操作规程操作。4.2测试方法4.2.1仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行设置。4.2.2采样管必须干净、严禁渗漏。4.2.3计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。4.2.4必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的可靠性。4.3测试规则4.3.1测试条件4.3.1.1温度和湿度：空气洁净级别不同的洁净室（区）之间静压差应当大于5帕，洁净室（区）与室外大气的静压差应大于10帕，并应当有指示压差的装置。相同级别洁净室间的压差梯度应当合理。无特殊要求时，温度应当控制在18-28℃，相对湿度控制在45%-65%。4.3.1.2压差：不同空气洁净度等级的医药洁净室（区）之间以及医药洁净室（区）与非洁净室（区）之间的空气静压差不应小于5Pa，医药洁净室（区）与室外大气的静压差不应小于10Pa。4.3.2测试状态：有静态测试和动态测试。4.3.2.1静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。4.3.2.2动态测试时已处于正常生产状态，所产生粒子不影响最终产品的作业，可允许超出标准，但当操作完成10分钟后，粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内，应定期监控动态条件下的洁净状况。4.4悬浮粒子计数4.4.1采样点数目及其布置4.4.2采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。4.4.3采样点布置要求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。4.4.4采样点一般离地面0.8m高度的平面上均匀布置。采样点多余5点时，也可以在离地面0.8m-1.5m高度的区域内分层布置，但每层不少于5点。4.4.5采样次数的限定：对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次，但不同采样点的采样次数可以不同。面积（M2）洁净度级别100级C级（10000级）D（100000级）10》1020》2040》40100》100200》200400》4001000 20002-3481640801604008002224102040100200222236133263注：表中的面积，对于单向流洁净室，是指送风面积，对于非单向流洁净室，是指房间面积。4.5采样量不同洁净度级别每次最小的采样量见表2。表2最小采样量洁净度级别采样量，L/次≥0.5μm≥5μm100100001000005.662.832.83—8.58.54.6采样注意事项4.6.1在确认洁净室（区）送风量和压差达到要求后，方可进行采样。4.6.2对于单向流，计数器采样管口应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜向上。4.6.3布置采样点时，应避开回风口。4.6.4采样时，测试人员应在采样口的下风侧。5.结果计算悬浮粒子浓度的采样数据应按下步骤作统计计算：5.1采样点的平均粒子浓度A=C1+ C2+…+ CN………………（2）N式中：A——某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；CI——某一采样点的粒子浓度（i=1，2，…，N），粒/ m3；N——某一采样点上的采样次数，次。5.2平均值的均值M=A1+ A2+…+ AL………………（3）L式中：M——平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒/ m3；Ai——某一采样点的平均粒子浓度（i=1，2，…，L），粒/ m3；L——某一洁净室（区）内的总采样点数，个。5.3标准误差式中：SE——平均值均值的标准误差，粒/ m3；5.4置信上限?????????????????????UCL=M+t×SE??????????…………………（5）式中：UCL——平均值均值的95%置信上限，粒/ m3；????????t ——95%置信上限的t分布系数，见表3。表3???95%置信上限的t分布系数采样点数L234567899t6.312.922.352.132.021.941.901.86注：当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。6.结果评定????判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。6.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限。6.2全部采样点的粒子浓度平均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。7采样频率：检测地点洁净级别检测频率采样点标准净化车间女二更D每季1次2≥0.5um3500000≥5um20000男二更D每季1次2≥0.5um3500000≥5um20