脉冲激光沉积锐钛矿相二氧化钛薄膜用于气体传感器研究.pdfVIP

脉冲激光沉积锐钛矿相二氧化钛薄膜用于气体传感器 徐 俞 沈明荣 （苏州大学物理科学与技术学院，薄膜材料江苏省重点实验室，苏州 215006 ） 摘 要：利用脉冲激光沉积法(PLD)在玻璃上制备了锐钛矿相TiO2 薄膜，选择金属Ti 靶材来制备薄膜。分析了在不 同的衬底温度条件下制备的薄膜的结晶状态和透射光谱。结果表明在衬底温度为400 ℃下沉积的薄膜具有良好的结晶 度和透射率，符合气体传感器的应用的要求。 1 引 言 [1] TiO2 以其优良的物理化学性质引起了大家的广泛关注 。TiO2 薄膜广泛的应用于光催化材料、 太阳能电池、薄膜电容器和滤波器等，利用纳米TiO2 电学性能随周围气氛中气体组成的改变而改变 的性质，可以将它作为检测多种气体的传感器材料，如H ,O ,CO等气体，特别是由于TiO 具有较 2 2 2 [2] 强的抗铅能力,可用于测量汽车发动机空燃比的氧传感器 。近年来纳米技术的迅速发展,为TiO2 的发 展应用提供了更广阔的前景。由于TiO2 纳米粒径小, 比表面积大,相对气体阻抗变化大等优点,提高了 TiO2 气体传感器的灵敏度。纳米TiO2 具有化学性能稳定，常温下几乎不与其它化合物反应的性质， [3] 并且具有热稳定性。制备用于IC 电路的传感器要求沉积薄膜的温度低于500℃ ,脉冲激光沉积法因为 其沉积薄膜时产生的等离子体具有很高的能量，可以很好地控制结晶状态，降低结晶温度，所以能 很好地用于制备TiO2 薄膜。 TiO2 主要存在二个四方晶系的相：金红石相和锐钛矿相。其中锐钛矿相是亚稳相，金红石相是 高温稳定相，相变温度大概是700℃-800℃。因此即使粉末是锐钛矿相，靶材还是金红石相。然而， [4] 锐钛矿相薄膜比金红石相具有更高的光催化效率和更好的气体传感器灵敏度 。使用TiO2 靶材制备 的薄膜大部分是金红石相或锐钛矿相和金红石相的混合相。要获得锐钛矿相薄膜就要严格的控制沉 [4] 积条件（如：氧气压，衬底材料和温度、激光频率）。E.György 等 用PLD方法在激光频率2 Hz,10 Pa氧气压下,001SiO2 衬底上制备了锐钛矿相薄膜，并且讨论了其气体传感器应用的可行性。 本文采用另一种有效的获得锐钛矿相薄膜的方法：使用金属Ti为靶材，在特定的氧气氛下沉积， [5] 可以很好地获得锐钛矿相薄膜。H.ITO等 用PLD方法在Si衬底上制备了良好结晶的锐钛矿相TiO 薄 2 膜, 然而相关其应用于气体传感器方面的研究尚未见报道。我们研究了衬底温度对结晶结构的影响、 薄膜的透射光谱和表面微结构，以便将其应用于气体传感器。 2 实验方法 我们采用248 nm KrF准分子激光器在石英玻璃衬底上沉积TiO2 薄膜。让激光束经过石英窗口聚 焦在Ti靶材上,激光波长是248 nm, 激光能量大约180 mJ/每脉冲，激光脉宽20 ns