基于Windows+API实现的串口库在PECVD控制系统中的应用研究.pdfVIP

第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 V01．29No．4 2008年4月 ChineseJournalofScientificInstrument Apr．2008 基于Windows 统中的应用 金妮 徐皑冬 刘明哲 (中国科学院沈阳自动化研究所沈阳110016) Al 摘要本文对串口通信技术进行了研究，利用Windowsl函数设计实现了串口库，并将其应用到化学气象沉积设备 PECVD控制系统中，取得了良好的效果． 关键词WindowsAPl串口通信Ic装备 ofserial basedonWindowsAPIonPECVDcontrol Applicationportlibrary system Jin NiXu Liu AidongMingzhe Institute Chinese 110016 (ShenyangofAutomationAcademyofSciencesShenyangChina) This has serial been Abstract researchedcommunication theserial has paper technique,andportlibrary andrealized theWindowsAPI is in designed by function，whichchemistrymeteorologydeposition using applied PECVDcontrol ithasobtainedthe effect． equipment system，and good WindowsAPIserialcommunicationIC words Key equipmen 1 引言 究，设计并实现了用来进行串口数据采集的串口 库。 近年来，随着中国信息产业的飞速发展，被誉 为信息产业基础和“心脏”的半导体技术，越来越受 2化学气象沉积设备PECVD控制系统 到世人的瞩目和产业界的重视。但由于各种原因， 支撑我国lC产业发展的装备制造业却严重落后， 化学气象沉积设备PECVD控制系统，是Ic装 这在～定程度上大大制约了我国IC产业的发展， 备系统的一种，可用于对半导体加工过程中的晶圆 因此，发展我国IC装备制造业已成为当务之急。 沉积工艺进行控制，通过PECVD设备精确控制沉 利用串口进行数据通信在通信领域中占有着 积均匀性及沉积厚度，也可以满足不同工艺、不同 重要的地位，串口通信在工业制造特别是IC产业 介质情况下的设备控制，同时达到满意的沉积效 中也有着十分广泛的应用，例如在lC装备制造系 果。该PECVD控制系统为化学气象沉积设备提供 统中，需要进行各种设备控制以及对某些设备进行 了完备的解决方案。 数据采集，工业控制要求实时性比较高，比如报