Sm,xFe,1-x薄膜和(Fe)-x(Sm,2O,3),1-x颗粒膜的结构和磁性.pdfVIP

摘要 摘要 随着科技的进步，电子设备向小型化、高度集成化的发展，需要磁性器件小型化和高 频化，因此，在高频下应用的软磁薄膜成为软磁材料发展的必然方向，对这类膜的要求是 高电阻率P、高饱和磁化强度Ms、高磁导率∥和适当大的面内各向异性场风，以便有效地 oc 抑制高频下的涡流损耗和提高铁磁共振频率步(fqF-瓦,Hk)，后者决定了薄膜在高频 上应用的频率上限。稀土-3d过渡金属问化合物由于具有较大的饱和磁化强度、大的磁晶 各向异性和磁滞伸缩而有望在高频应用中发挥作用。另外，由金属一绝缘介质组成的纳米 颗粒膜同时集中了磁性金属的高尬、高∥和绝缘介质的高P的优点，从而成为软磁材料研 究中的又一热点。 性质。主要结论如下： 和菱方结构的Sm2Fel7构成的。 的含量降低，SmxFel《薄膜的软磁性变好，在溅射功率的改变范围内，120W功率制备 的Sm。Fel嚎薄膜，磁性最好。 面内各向异性主要是由Sm2Fel7相晶格常数发生变化导致的应力引起的。Sm含量为