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亚表面缺陷无损检测
亚表面缺陷无损检测;提纲;缺陷：
局部物理或化学性质突变区域
微裂纹、非晶层、位错 ……
空穴、孔洞、夹杂、;亚表面缺陷无损检测的基本原理;一、激光技术
始于七十年代初期
（1）激光全息
通过对被测物体施加外载荷，利用缺陷部位的形变量的缺陷程度的关系 (需对物体加载、表面变形)
（2）激光超声
脉冲激光器发出的激光束照射被测物体，激发超声波，采用干涉仪显示超声波的干涉条纹 ;亚表面缺陷无损检测方法（续）;亚表面缺陷无损检测方法（续）;超声检测:
被测对象范围广；检测深度大；缺陷定位准确，检测灵敏度高；使用方便。
微波检测:
通过测量微波基本参数如微波幅度、频率、相位的变化，来判断被测材料或物体内部是否存在缺陷以及测定其它物理参数。
渗透探伤:
荧光染料或着色染料渗透，显像剂显影。
磁粉探伤:
利用漏磁原理（当磁力线穿过铁磁材料时，在其（磁性）不连续处将产生漏磁场，形成磁极。磁极会吸附磁粉，产生磁痕。
涡流探伤:
以交流电磁线圈在金属构件表面感应产生涡流的无损探伤技术。涡流探伤仅适用于导电材料，只能检测表面或近表面层的缺陷。;残余应力检测方法;光弹法;光弹法（续）;暂时双折射
模型受力后，平面偏振光通过此模型时，沿两主应力方向分解为两支平面偏振光，传播速不同，产生光程差。;X射线法;检测仪器简介;PBS表面、亚表面损伤测量系统 PBS? Subsurface Defect Measurement System;测量原理;n;应用实例;F. Orazio et al, “Using optical technology to detect subsurface wafer damage and its effect on epitaxial layers”, Micro pp73-92, 3-2002 ;SAM400 超声波扫描显微镜，德国 PVA TePla; 超声波扫描显微镜;SIRD;300mm,5min; 水平分辨率0.1mm; 6kPa;;;StrainMatic M4/320 polarimeter system;光学元件、400*400*100 100kg;Xstress 3000 ;谢 谢！
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