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----清炉工艺卫生 工艺卫生 目的 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，控制单晶品质 ，特制订本规范 适用范围 适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。 作业准备 1.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 2.准备好无尘手套、耐高温手套、毛巾、无尘纸、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 3.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 4.准备并清理干净单晶筐、不锈钢小车、不锈钢筒 5.用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要触碰所有控制接线及开关，并把炉子周围清扫干净。 单晶炉操作工艺流程 1、 单晶炉操作工艺流程 作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却 A真空过滤器清洗 1.准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。 2.用扳手打开真空过滤器盖螺丝。 3.用吸尘刷仔细清洗过滤器内壁的挥发物。 4.用吸尘刷清洗过滤器盖，用沾酒精的纸巾擦净密封圈，并检查密封圈是否完好就位，防止影响抽空。 5.盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。 B真空泵油检查更换 1.确认关闭主泵球阀和真空泵，在放油单晶炉上挂检修牌，打开上下腔放油开关，将油有放油口放入废油桶，放完油后关闭上下腔放油阀，废油倒入指定油桶。 2.清洗真空泵（每5炉清洗一次），用扳手打开真空泵侧盖，用毛巾彻底清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污，清洗完毕后，安装好滤网，检查密封圈，安装好侧盖。 3. 将真空泵油注入真空泵注油孔，油位观察窗1/2位置，停止注油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油，关闭油口。 4.启动真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，确认油位处于观察窗1/3----1/2位置，关闭真空泵，在单晶炉上移去检修牌。油位若低于下限重复3，4操作。 5.真空泵与电磁阀连接的弯头要在换油之前清理并安装完好。 D副室的清理 1.准备好清洗棒、纸巾、酒精。 2.在清洗棒上缠上沾有酒精的无尘纸，清洗付室内部至上部，直至确认无污物。 3.快速降下籽晶夹头，用沾有酒精的无尘纸认真擦洗重锤，夹具及钼夹头。必要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨，并清洗干净。摘下重锤时，防止钢丝绳上弹出槽。 4.清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有应截去一截钢丝绳，防止在拉晶过程中钢丝绳断裂。清洗升重锤时，防止重锤晃动导致重锤挂住付室下沿，拉断钢丝绳。 E小副室的清洗 1.打开付室小门，用沾有酒精的无尘纸擦洗小付室内的附着物。挥发物附着较多时，先用吸尘刷处理。 2.用沾有酒精的无尘纸认真擦洗付室抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用无尘纸卷成筒状再认真擦洗。 3.清洗过的小付室将翻板阀盖住阀口，并关闭付室小门。 4.用洁净的无尘纸将小付室上口盖住。 F 炉盖清洗 a. 炉盖清洗 1. 先用无尘纸擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。 2. 小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的无尘纸认真擦洗至确认无污物。 3. 炉盖内壁挥发物要用研磨布认真研磨直至内壁出现光亮无污物。 4.观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷清理直至没有污物。 b G炉筒清洗 1.先用无尘纸擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。 2.中炉筒取光孔部位要用沾有酒精的无尘纸认真擦洗。 3.下炉筒两边排气孔，埚杆入口及铜电极处附着氧化物要用研磨布认真研磨，直至光亮无污物。 3.中炉筒，下炉筒内壁存在挥发物要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光亮无污物。 H抽气管道清洗 1.用扳手打开抽气管道上的封盖螺丝，取下封盖和密封圈 2.下炉筒两边管道和连接波纹管的横向，纵向十字架排气管道要用一头缠钢丝球的长棒伸入抽动，并用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。 3.用沾有酒精的无尘纸认真擦洗封盖和密封圈，再安装好.