硅基矩形结构马赫_曾德2_2热光开关的设计与仿真.pdfVIP

第 ４ 卷第 期 光 子 学 报 ３ ２ 　 　 　 ｏｌ．４３Ｎｏ．２ Ｖ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１４ ２ Ｆｅｂｒｕａｒ ０１４ ＣＴＡ ＰＨＯＴＯＮＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ２ Ａ ｙ 　 　 　 ｄ ： ／ ｏｉ１０．３７８８ ｚｘ０２１３００１ ｇ 硅基矩形结构马赫 曾德２ 热光开关的 － ×２ 设计与仿真 １ １ １ ２ 克 ， 思璇 ， 晖 ， 刘 牟 黄 崔永 浩 （ ， ） １北京工业大学 光电子技术省部共建教育部重点实验室 北京 １００１２４ （ ， ， ， ， ） ２ＤｅａｒｔｍｅｎｔｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＴｅｘａｓａｔＤａｌｌａｓ Ｒｉｃｈａｒｄｓｏｎ ＴＸ ７５０８０ ＵＳＡ ｐ 　 　 　 ｇ ｇ ｙ 　 　 　 　 　 ： 关是实 现 光传 输路径 变换 的 关键 器件之 一 对于 目前 马 赫 型 光 开关本身占据 的 摘 要 高速 光 开 ． －曾德 　 ， 光 开 尺寸较大 或者 在 一 维方 向上尺度 较 长 的缺点 提 出 了一 种 利 于 高度 集 成 的矩 形 马 赫 曾德 ×２ 关 － ２ ／ ／ 单 元结构 器件 由基于 受抑全 内反射 原理 的沟槽 型微纳 分 光 合 光 器 和 弯 曲 波 导 的 型 参 考 相 移 ． ９０° Ｌ ，