大口径光学表面超精密铣削加工的平面度误差分析研究.pdfVIP

大口径光学表面超精密铣削加工的平面度误差分析 张文生¨_’ 张飞虎“’ 张龙江n’ 哈尔滨 150001 黑龙江 150027) (1哈尔滨工业大学 2黑龙江科技学院 摘要：本文重点分析了工艺系统刚度、铣削力和机床主轴偏斜对平面度的影响．分析表明： 飞刀铣削时切削层参数和机床主轴偏斜是影响平面度误差的重要因素；铣削过程中飞刀的安装位置 变化，几何参数变化，切削层参数变化和铣削方式变化，引起切削力变化，从而引起工艺系统变形， 进而影响平面度误差．铣削过程中工件形状变化，飞刀铣削过程接触角也发生变化，使铣削力削力 发生变化，影响平面度误差；因此。飞刀铣削加工时。铣刀盘回转半径要尽量大，使铣削时接触角 变化相对小．也就是使切削层平均厚度和机床主轴偏斜对平面度的影响变小，从而减小超精密铣削 的平面度误差．并推导出了机床主轴偏斜对平面度误差影响的公式． 关键词：超精密铣削；机床主轴：切削层：平面度 1．引言 在光学工程领域和光电子领域中随着光学【业传统产品向光电子产品和高技术附加值产品的转 化．以及高技术项目的推广应用u’．对光学元件的精度指标要求越来越高。而目前国内在大口径光 学元件加工的质量和效率方面都不能满足要求．国外的超精密加工技术设备有禁止对我国进口，因 此我国迫切需要开展大口径光学元件超精密加工技术的研究。 大口径光学元件的平面度误差主要取决于工件和刀具相互位置的正确程度。刀具和工件相互位 置的变动与I：艺系统刚度有关。机床一夹具一工件一刀具组成的【艺系统是一弹性系统。加工时， I：艺系统在切削力和其它外力作用下，刀具与工件之间的相对位置发生变动，造成工件在尺寸，形状 和表面位置方面的加工误差。铣削力的变化是由于单齿端铣刀(以下简称飞刀)的安装位置、匕刀 的几何参数、切削层参数、切削方式和【件形状及机床有关技术参数等引起的。当其它条件固定时， 切削层参数是影响铣削力的主要因素。弋刀安装在机床主轴上作旋转运动。I：件安装在【作台或夹 具上由导轨驱动作直线运动。因此机床主轴偏斜误差、导轨直线度误差和【作台平面度误差对超精 密铣削加f平面的平面度误差有很大影响。下面分析超精密铣削的平面度误差。 2．刚度对平面度的影响 在铣削加1：过程中，工艺系统的各组成部分在各种外力作用下，会在各个受力方向产生相应的变 形(或总位移)．但其中对加工精度影响最大的是沿加工面法向的力Fp,以及沿励方向引起的总位移y 张。因此．【：艺系统刚度(k系统)一词。主要是指加工面法向的刚度。有： k‘缱=Jf矽／，系缱 (1) 上式可改写为y,．=Fp／k不茂。它说明，当系统刚度一定时，作用在系统上的法向切削力越大，则系 统的总位移也越大：法向切削力越小，总位移也越小．当法向切削力一定时。系统刚度大，总位移量小： 系统刚度小，总位移量犬。但是，若系统刚度足够大时，尽管有切削力和其它外力的作用，也能使总位 移量减小到最低限度。故工艺系统受力总位移产生的加工误差，主要决定于系统本身的刚度。对于超 精密加J．即使工艺系统刚度足够大．当受到切削力和其它外力的作用时．也会产生及其微小的位 移置．影响加I：精度．产生加T：误差憎‘． 由丁l艺系统是由机床．夹具．刀具和l件等许多零部件组成的．其受力与变形(或总位移)之间 的关系，与一般物体的刚度有所不同．凡是外力能传达到的每个环节，都有不同程度的变形汇总到部 件或整个工艺系统的总位移中去。因此，工艺系统在受力情况下的总位移量y系统是各组成部分变形和 位移的叠加，即： J7系缱=，机床+．，夹其+．，，刀其+J，工件 (2) 因此．在铣削加工时，为了减小平面度误差，工艺系统各组成部分的刚度要足够． 3．铣削力对平面度的影响 铣削过程是断续的切削过程，在铣削时飞刀只有-,h段弧长与工件接触。飞刀的几何参数对飞 刀切入工件时的切削厚度及飞刀前刀面和工件接触点的位置有很大影响．飞刀切入工件时前刀面不 是全部同时接触工件，而是前刀面范围内的某一点与工件接触，前刀面与工件的接触范围逐渐变化， 所以铣削过程产生的铣削力是变化的． 飞刀在铣削过程中随着飞刀