超长六角多型纳米碳化硅晶须的光学性质研究.pdf

2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 超长六角多型纳米碳化硅晶须的光学性质 U1i．Lemmer2 张洪涛1’2 Georg．Bastian2 (湖北工业大学，电气与电子工程学院，武汉，430068)1 of andInformation (Karlsruhe Electronics Technology， University，Faculty Germany，76121)2 EnhancedChemical 摘要：采用改进的PECVD(Plasma VaporDeposition)技术首次制备 出六角多型碳化硅纳米晶须。高分辨率电镜观察其直径在18—50nm之间。长度为0．3um一6mm。 Raman光谱表明它是六角多型(4H)纳米碳化硅晶须。紫外光激发出现高强度蓝光发射。 碳化硅带隙为3．98eV，这一发光现象与量子力学计算结果不符。说明了碳化硅晶须光学性 质特殊性。 关键词： 纳米晶须 六角多型碳化硅光学性质 PACC 4250，7855，7865V 超长晶须状纳米六角碳化硅是一种新型的宽带半导体材料。因为它可以用于紫外探测 器等领域，它的光学性质一直受到的人们关注。尚未听说它的光学性质研究情况。采用改 进的PECVD方法我们制备出直径非常细的晶须状纳米碳化硅[1]。经过Raman光谱测定， 发现它具有六角多型碳化硅晶体结构[2’5]。 1、实验 晶须状纳米碳化硅分散体。Raman光谱采用487．9nm的Ar+激光激发，在武汉理工大 学测试中心完成。紫外激发光谱测试在武汉大学化学学院紫外光谱室RF_5301紫外光谱仪 上进行，激发光源波长范围是220nm’700nm。高分辨率电镜(HRTEM)分析在武汉大学生命 科学学院电镜室HITACHI-8100电镜上进行。 2、结果与讨论 图1是碳化硅的HRTEM电镜显微像。可以看到晶须状纳米碳化硅的直径为18“30nm， 直径均匀分布。长度大部分在0．3um。6mm之间。从HRTEM可以观察到纳米晶须中间有明 显的螺纹(等间隔的黑体，长度在2nm左右，见图1中箭头B)，因此推断纳米晶须是螺旋 状生长[1]，这是六角多型生长的直接证据。图2是纳米碳化硅晶须的电子衍射图(TEM)。 !QQ磐 图1 晶须状六角碳化硅的HRTEM显微像，其直径为18’50D．m，长度为0．3um“6mm。 图2中是纳米晶须衍射环，根据它并不能确定纳米碳化硅晶须的多型性。从图中可以 2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 看到纳米晶须衍射环中隐约出现衍射斑点，这可能是纳米晶须具有一维结晶良好的证据。 图3是它的Raman光谱。由图3可见它有两个特点。一是它出现了六角碳化硅的光发 射声子宽化峰，二是与六角碳化硅晶体的Raman光谱相比，它显著出现蓝移。其纵向光学 cm～。 声子峰从760cml蓝移到798Clll～，而横向光学声子蓝移到978 2500 重砌 l锄 1000 500 O o 200 400 600 800 lOOO 1200