复杂微系统的端点特性建模理论研究.pdf

系 统仿真学报@ V01．20 第20卷增刊 S叩pI． 2008年9月 Journalof Simulation Sep．，2008 System 复杂微系统的端点特性建模理论 林谢昭1．一， 应济2 (1．福州大学机械工程及自动化学院，福建福州350002；2．浙江大学机械与能源工程学院，浙江杭州310027) 摘要：复杂微系统的模拟要求建立统一的，适合于植入电网络仿真器计算的系统级模型．以热力 学概念作为通用理论框架，建立多畴耦合微系统通用模型的—般性理论．利用热力学共轭参量“流” 和“势”统一表达从属于不同物理域子系统的端点特性，可建立各个子系统多端口组件模型．结合 系统进行反复模拟和优化设计．以静电微泵为例，阐述了这一建模方法的有效性． CAD 关键词：端点特性；系统级模拟；Kirchhoffian网络理论；多物理场耦合；MEMS 文献标识码：A 文章编号l 中图分类号：THl6；TN405 TheTerminalBehaviors Methodfor Modeling ComplexMicrosystems 。LINXie．ZhnJ3．YINGJi2 ofm∞hmcal andautomationFuzhou (1．Thecollege engineering University，Fuzlaou350002，China； andEnergyEngineeringZhejiangUniversity,aangzhon310027，China) 2．TheCollegeofMechanical Abstract：Forthewhole simulation nniform methodis achieving mixed-technologymicrosystemsresults，a modeling for the modelofthe shouldbesuitabletobeembeddedinelectric required constructingsystems．1evel microsystems。which networksimulator．口vthe asacommontheoretical a usingconceptofthermodynamictheory framework,whichprovides anduniform mathematical of to‘ general physically·baseddescriptionmultidisciplinarysystems，thesubsystemsbelonging domaincanbemodeledasamulti-terminalselement．Theinternalterminal individual different behavio坶ofthesu