超声喷雾法制备大面积SnO2F薄膜的设备及工艺研讨.pdf

薄膜硅太阳电池及材料．203． 超声喷雾法制备大面积Sn02：F薄膜 的设备及工艺研究 赵庚申王庆章许盛之王瑜 ’ 南开大学光电子研究所天津300071 【摘要】 本文对基于超声喷雾热分解工艺的大面积SnOz：F薄膜的制备技术进行了研 mm2×200 究，并实现了200 mmz大面积的均匀镀膜。同时对超声喷雾热分解 工艺制备大面积Sn02：F薄膜做了工艺探索，分别研究了温度、掺杂比、酒 精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响；并将实验制得的 薄膜用于制备非晶硅薄膜电池，其效率达到了5．96％。本文同时介绍了以薄膜 太阳电池用的掺氟二氧化锡透明导电膜为实例，介绍了制备大面积透明导电膜 主要设备。’ 【关键词】 超声喷雾热分解大面积掺氟二氧化锡薄膜掺杂比 0引言 二氧化锡(Sn02)薄膜是一种集多种优良性能于一体、受到广泛关注的功能材料，可以 通过掺杂成为具有一定导电能力的透明导电薄膜。它具有很好的气敏性、可见光透过性、紫 外线的吸收和红外线的反射能力u】，在掺杂之后又具有良好的导电能力，因此二氧化锡薄膜 可以作为薄膜太阳电池的前电极广泛应用在薄膜太阳能电池领域。喷雾热解法经过40多年的 发展已成为在玻璃基板镀膜的有效方法【2】。超声喷雾制备薄膜的方法具有低成本、高质量的 优点，同时超声喷雾热解工艺对环境要求很低，不需要真空，’沉积温度4800C以下，工艺控 制简单，所以该方法的设备成本远远低于其他镀膜方法。 ’ 1试验方法及制备技术 超声喷雾的原理及方法在很多文献中均有介绍在此不再螯述，只简单介绍本文中的试验 mm×200 设备。本文利用超声喷雾方法制备掺氟二氧化锡透明导电膜的尺寸为。200 mm， 。大面积’实质上是指大面积范围内制备的薄膜要符合技术指标的要求。关键的设计在喷头部 分和移动加热设备，前者要确保气流均匀，后者要保证加热功率和温度场稳定。 ·204· 中国太阳能光伏进展 1．1喷头的设计 喷头设计对制备性能优良、表面均匀性好的薄膜非常关键。我们在实验中设计了狭缝式 喷口喷头。喷口长度：220111111、狭缝宽度1．5 mm喷头外部双进气管和喷口平行双侧进气。 该喷头的特点就是进气口一分为二，并且相对朝向，与气流出口方向垂直，这使得气流充分 ● 混合，然后均匀喷出。 1．2移动加热炉的设计 ， 新型加热炉从三个方面保证了加热的均匀性，一是使加热管均匀的分布在加热板内，二 是采用了多点检测，分别控制的智能算法。三是在加热板上固定匀热板，保证了匀热板在长 时间的使用或很高温度时仍能保持平面度和温度的均匀性。为了简化装置设计，采用喷头固 定，基片移动方法实现大面积沉积。将加热器、匀热板、样品台放置在同一平台上，平台由 直流步进电机驱动作水平线性运动。速度连续可调并具有正反向移动、精确定位控制。 2超声喷雾薄膜成膜机理研究 在超声喷雾沉积工艺中温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数都会 对薄膜性能产生影响，由于文章篇幅所限只介绍温度对成膜的影响。 2．1 温度对成膜的影响 玻璃衬底温度是影响薄膜制备的最关键因素。基板温度较高时，玻璃表面碱金属原子的 扩散速率的增加，会对镀膜层的性质产生影响。同时基板温度还会影响化合物的分解。在玻 璃表面膜沉积过程中，由于受到反应放热或吸热的影响，玻璃基板温度也会随之发生变化。 另外，基板温度对薄膜的晶体生长机制，表面形态、薄膜的光学性质(如透光度、颜色)、电 导率等都有影响口-们。而且由于玻璃衬底温度易受掺杂浓度、喷雾气流等因素的影响，因此 控制温度是超声喷雾沉积