超声喷雾法制备大面积SnO2F薄膜的设备及工艺研讨.pdfVIP

薄膜硅太阳电池及材料．203． 超声喷雾法制备大面积Sn02：F薄膜 的设备及工艺研究 赵庚申王庆章许盛之王瑜 ’ 南开大学光电子研究所天津300071 【摘要】 本文对基于超声喷雾热分解工艺的大面积SnOz：F薄膜的制备技术进行了研 mm2×200 究，并实现了200 mmz大面积的均匀镀膜。同时对超声喷雾热分解 工艺制备大面积Sn02：F薄膜做了工艺探索，分别研究了温度、掺杂比、酒 精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响；并将实验制得的 薄膜用于制备非晶硅薄膜电池，其效率达到了5．96％。本文同时介绍了以薄膜 太阳电池用的掺氟二氧化锡透明导电膜为实例，介绍了制备大面积透明导电膜 主要设备。’ 【关键词】 超声喷雾热分解大面积掺氟二氧化锡薄膜掺杂比 0引言 二氧化锡(Sn02)薄膜是一种集多种优良性能于一体、受到广泛关注的功能材料，可以