工艺变化下互连线建模与ABCD参数仿真.pdfVIP

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2018-04-07 发布于北京
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工艺变化下互连线建模与ABCD参数仿真.pdf

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第40卷第3期微电子学 V01．40．No．3 0 2010年6月 Microelectronics Jun．201 工艺变化下互连线建模与ABCD参数仿真张瑛，杨恒新，车晶，丁可柯 (南京邮电大学电子科学与工程学院，南京210046) 摘要：考虑互连线工艺变化的空间相关性，采用数值仿真及拟合方法，得到电气分布参数的近似表达式，建立了互连线分布参数随机模型；推导出互连线ABCD参数满足的随机微分方程组，并提出基于蒙特卡洛法的ABCD参数统计分析方法；最后，通过对ABCD参数各参量系数的正态性进行偏度一峰度检验，给出最差情况估计。实验结果表明，提出的互连线随机模型及统计分析方法可以对工艺变化下的互连线传输性能进行有效的评估。关键词：互连线；工艺变化；随机微分方程；蒙特卡洛法中图分类号：TN47 文献标识码：A ofInterconnectsandSimulationofABCDParameters Modeling in ofProcessVariations Presence ZHANG Keke Jing，DING Ying，YANGHengxin，CHE Scienceand and 210046，P．RChina) ofPostsTelec删ions，Nanjing (Cd／egeofF_2e藏sEngineering，NanjinglAnMv．say the correlationofinterconnect ofdec’ spactial processvariations，approximateexpressions Abstract：Considering distribu’ trical wereobtainednumericalsimulationand stochasticinterconnectmodelwith parameters by fitting，and of was inthe of variations．Stochasticdifferential ABCDparame。 ted process equation parametersproposedpresence andstatisticalmethodforABCD basedonMonteCarlomethodwas terswasderived analysis parameters presented． testwasmadefor andworst-caseestimationwas