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第 24卷 第 3期 量 子 电 子 学 报 Vol_24 NO．3 2007年 5月 CHINESEJOURNALOFQUANTUM ELECTRONICS May2007 文章编号： 1007-5461(2007)03-0357-04 PCB激光投影成像扫描技术分析 林清华， 李文静， 周金运 f广东工业大学物理与光电工程学院， 广东 广州 510006) 摘 要 ：通过对印制电路板激光投影成像技术使用的步进重复扫描和六边形无接缝扫描方法进行比较，揭示 了六边形无接缝扫描技术的优越性能，对六边形无接缝扫描技术的均匀曝光过程及其实现的原理进行了阐述， 并对影响扫描成像的曝光量和曝光速度等因素进行了分析。 关键词 ： 激光技术；激光投影成像；六边形无接缝扫描；曝光；印制电路板 中图分类号 ：TN249；TN305．7 文献 标识码 ：A 引 言 图像转移是印制电路板 (PCB)生产过程中的关键步骤，实现 PCB的图像转移技术工业上又叫PCB 成像技术。随着传统的成像技术逐渐暴露出精度和分辨率较差以及产量和成品率低下等缺点，出现了以激 光光源代替普通光源的新的PCB成像技术。由于大面积、高精度和高产量的制板技术在工业中有着重要 的运用，于是诞生了激光投影成像技术 [。激光投影成像技术由于无与伦比的优势，有望在PCB、集成 电路 (IC)、液晶显示器 (LCD)等制造业得到广泛的应用。 激光以其平行性好、窄的线宽和高分辨率等独特的优势运用到 PCB曝光机上，能够生产高密度、高 质量的PCB，满足电子产品日趋小型化、轻薄化的需要，但激光的光束直径小，考虑 PCB抗蚀剂曝光量 以及激光能量问题，即使激光束被扩束，从底版投射到印制板的光斑尺寸与整个板大小相比还是非常有限 的，因此可以通过步进重复扫描或者六边形无接缝扫描的方法来实现整块底版和印制板间的图像转移。步 进重复成像技术是把一整块板分成若干小块，然后通过投影物镜一块一块地分别成像 2【Jj效率较低。而六 边形无接缝扫描技术 是把光斑整形成正六边形分布，平台作高速扫描运动，印制板被一行一行扫描而 成像。扫描系统是 PCB曝光设备的主要组成部分之一，扫描技术的优越性与否影响到基板表面曝光的均 匀性和速度，从而影响到整个产品的质量和产量，因此本文对激光投影成像使用的步进重复扫描和六边形 无接缝扫描方法进行比较，详细分析了六边形无接缝扫描技术的均匀曝光过程以及影响曝光量和曝光速度 等因素。 2 两种激光扫描方式的比较 2．1 步进重复扫描 在步进重复扫描中，一整块板被分成若干小块，然后通过投影镜一块一块分别成像，由于每次步进设 定和校正增加了重复时间，故其产量较低 [到。除此之外，在曝光相邻两块板时，步进器可能会发生成像距 离错误使局部位置没有曝光或者过曝光，如图 1所示 [引。如果是半导体芯片成像，可能某一芯片图形与 已曝光的芯片图形被未成像区域隔开，由于这些未成像的区域并没有图形，所以不要求相邻两部分图形之 间有精确的成像距离。但是，对于一块大的PCB，整块板常常是一个图形，不允许存在小块印制板之间的 未成像区域，因此，在多块小板平接的情况下，必须具有良好的对位精确度，否则由于相邻板成像距离错 误，即接缝误差 (Stitchingerrors)，将直接影响到导通和连接盘的错误，从而影响到PCB的质量。 基金项目：广州市科技计划资助项目(2006Z3一D0041) 收稿 日期 ：2006—09—22； 修改日期 ：2006—10-23 量 子 电 子 学 报 24卷 一 +_] (a)exact (b)gapbeⅣeen (c)ove1ap v ● butting steps bet n tp