回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法-红外与激光工程.PDFVIP

第46卷第7期 红外与激光工程 2017年7月 Vol.46No.7 Infraredand LaserEngineering Jul.2017 回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法 1 2,3 3 2 孙 昊 ，韩 森 ，唐寿鸿 ，王 芳 (1. 长春理工大学 光电工程学院，吉林 长春 130022； 2. 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院，上海 200093； 3. 苏州慧利仪器有限责任公司，江苏 苏州215123) 要院介绍了一个特殊结构的干涉测试方法和系统，基于Fizeau(菲索)干涉原理，通过一高精度直 角圆锥镜来实现圆柱坐标系与直角坐标的转换。该系统可以用来测量360毅回转圆柱的表面形貌，并 且无需图像拼接，可一次性获取整周的面形数据。通过对系统主成分误差的计算分析，及Matlab软件 数值仿真，建立了圆柱坐标系下的误差校正矩阵。并针对一环形样品进行实际测量，测试结果经过主 成分误差校正后，与TaylorHobson接触式圆柱度仪的测量结果一致，通过最小二乘圆(LSC)的圆度评 定方法计算得到的圆度误差值十分接近。实验结果表明：该测量方法可有效地实现圆柱体整周表面 形貌的测量，解决了目前回转光学元件的测量难度大、测试效率低等问题。 关键词院Fizeau干涉仪； 回转圆柱面； 角锥反射镜； 误差校正 中图分类号院O436.1 文献标志码院A DOI院10.3788/IRLA201746.0717001 Method ofno stitchinginterferometric measurementfor rotatory cylindricalsurface 1 2,3 3 2 Sun Hao, Han Sen , Tang Shouhong, Wang Fang (1. School of Optoelectronic Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China; 2. College of Opto-Electronic Information and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China; 3. Suzhou HL Instruments LLC, Suzhou 215123, China) Abstract: A new method and a Fizeau type interference system were introduced in this paper, cylindrical coordinates and cartesian coordinates can be mutual transformation, through a high precision 90毅conical reflector. This system was suitable for the test of 360毅rotatory cylindrical surface, and the whole surface info