Eu2CuO4缓冲层和YBCO超导薄膜的制备及研讨.pdfVIP

第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报 #A BC0 2#A 年 月 $DEF!3! G%HIF/- %J -%K 4!6L!I/4HI! LD’3E$3 ， #**, )* %MN 2 #**, ! $% 缓冲层和’($% # 超导薄膜的制备及研究 吴安宁 康 琳 孙国柱 杨森祖 吉争鸣 吴培亨 南京大学电子科学与工程系，南京 #)**+, 本文用脉冲激光淀积法在 （ ）基片上外延生长 薄膜缓冲层和 超 -./0% )** ! $% ’($% , # 导薄膜，用 射线衍射扫描分析表明 薄膜为 轴取向 1 !$% ! 2 ) 引 言 高温超导薄膜具有广阔的应用前景，因此得到了迅速发展 应用磁控溅射，脉冲淀积等 2 方法已成功的在 ， ， ， 等多种基片上制备出高温超导薄膜 我们知道，以晶格 34% ’35 -/% 67% 2 匹配的单晶片为基片比较容易获得高质量的取向外延薄膜，如果所要制备的高温超导薄膜 与基片的晶格不匹配，在薄膜与基片的界面附近，薄膜的晶格发生畸变，以便与基片相结合2 失配越大，畸变区的厚度越大 当失配很大时，仅靠晶格畸变缓解两者的失配已不够了，必须 2 靠位错来调整，这对于薄膜的质量有较大的影响 加缓冲层可以缓解基片和高温超导薄膜的 2 晶格常数的失配，就是说缓冲层起到一定的过渡作用2 目前，用于 高温超导薄膜的缓冲层材料有： ， ， ， 等 具体选用何 ’($% ’35 67% $8%# 394:%, 2 种缓冲层材料和所要淀积的高温超导薄膜以及选用的基片有关，如果基片和高温超导薄膜 之间的失配很大或者某些特定的基片和高温超导材料，可以采用双层或多层缓冲层技术，以 达到缓慢过渡的作用2 晶体为 相结构，其晶格结构较稳定，表面很光滑，并且 与高温超导材 ! $% #) !$% # 料之间也有很好的化学兼容性，所以它是一种较好的缓冲层材料2 用离轴射频磁控溅射法 ［］ 生长的有!$% 缓冲层的’($% 薄膜的外延性，晶格结构，表面均有明显的改善2 ) # 实 验 本实验用的缓冲层材料为 （ ），晶格常数 和 的晶格常 ! $%