常见扫描电子显微镜图像缺陷和解决方法.PDFVIP

2005 年 6 月 湛江师范学院学报 Jun , 2005 　　第 26 卷 第 3 期 JOURNAL OF ZHANJ IANG NORMAL COLLEGE Vol 26 　No 3 常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法 唐晓山 ,屈菊兰 (湛江师范学院 电镜室 ,广东 湛江 524048) 摘 　要 :在论述了荷电效应、损伤、边缘效应这三种常见的扫描电子显微镜图像缺陷的基础上 , 分析了其产生的原因及解决方法 ,并展示了其结果. 关键词 :扫描电子显微镜 ;荷电效应 ;损伤 ;边缘效应 ( ) 中图分类号:Q336 　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :1006 - 4702 2005 03 - 0123 - 03 扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像. 它主要反映样品表面的立体形貌. 由于 样品的高低参差、凹凸不平 , 电子束照射