方兴未艾的单晶衬底材料精选.pdf

Material Sciences 材料科学, 2011, 1, 1-6 doi:10.4236/ms.2011.11001 Published Online April 2011 (/journal/ms/) Progress on Single Crystals in Substrate Materials Jingcun Zang College of Materials Science and Engineering, Beijing University of Technology, Beijing Email:zangjc@ Received: Mar. 15th, 2011; revised: Mar. 28th, 2011; accepted: Apr. 1st, 2011. Abstract: The latest research progress on single crystals in substrate materials was described. In this paper using and application of single crystal substrates in fluorescence, optico-electronics, magnium, suppercon- ductor, optical ferro-electrical materials are introduced. Keywords: Single Crystal; Substrate; Optico-Electronics; Film; Epitaxy 方兴未艾的单晶衬底材料 臧竞存 北京工业大学材料科学院与工程学院，北京 Email:zangjc@ 收稿日期：2011 年 3 月 15 日；修回日期：2011 年 3 月 28 日；录用日期：2011 年 4 月 1 日 摘 要：介绍了作为衬底材料的一系列单晶的使用状态及其在发光材料、光电子材料、磁性材料、超 导材料、光学材料、铁电材料等方面的应用。 关键词：单晶；衬底；光电子；薄膜；外延 1. 引言 国家计委将其列入“2003 年度新材料专项”中。近年 来，衬底材料和GaN发光管才得到快速发展。随着科 单晶衬底材料是指用于外延生长晶体薄膜的单晶 学技术的不断开拓，尤其是光电子产业的兴起和发展， 晶片，所谓外延是指一定条件下，一种单晶表面上另 对薄膜性能和质量要求越来越高，原有的衬底材料已 一种单晶体的定向生长，提供外延生长基础的晶体称 远远不能满足要求，作为衬底的各种单晶材料应运而 为衬底[1] 。它本身可能有某种特殊功能和用途，也可 生，方兴未艾，其产业规模日益扩大，研究领域也在 能只是用来作新材料的衬底，本身并无其它特别用途。 不断扩展，研究内容逐步深入。 以往作为薄膜衬底的材料有玻璃、陶瓷和金属板材。 衬底材料的重要性可以从GdN研制和发展看出来。早 2. 单晶衬底材料的条件和分类 在 70 年代初人们就开始探索GaN材料的生长工艺，但