极化聚合物定向耦合型电光开关波导制备研究.pdfVIP

全阑第网届塑料光纤、聚合物光j。学会议论文集 极化聚合物定向耦合型电光开关波导制备 孙小强孙杰 高伟男 高磊陈长鸣张大明4 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 吉林大学电子科学与工程学院 长春130012) 摘要： 介绍了一种定向耦合型聚合物波导电光开关。利用溶胶．凝胶法合成了有机／无机杂化电光 材料，旋涂在长有Si02的Si衬底上。采用加载条形波导结构，利用环氧基紫外负性光刻胶SU．8制 备引导层波导，甲基丙稀酸甲酯．甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物PMMA．GMA作为上包层。通过湿法 刻蚀、电晕极化等工艺，制备了极化聚合物定向耦合型电光开关波导，并进行了光场测试。 关键词： 电光开关；定向耦合：SU．8：有机／无机杂化材料；聚合物波导 l引言 光开关器件具备速度快、消光比高、损耗低等优点，在现代通信技术中具有重要作用。聚合物 光电子器件以其独特的优势成为当前的研究热点之一，聚合物波导、聚合物光纤、聚合物极化等方 面的突破性进展，使聚合物光电子器件在光通讯领域显示出巨大的应用潜力‘1】【钔。 本文采用定向耦合型开关结构，用溶胶一凝胶方法制备有机／无机杂化电光材料，旋涂在长有Si02 的Si衬底上，经电晕极化后，具有较高的电光系数和良好的稳定性；利用湿法刻蚀技术制备SU．8 引导层波导，形成定向耦合器结构，其上旋涂PMMA．GMA聚合物材料作为上包层，构成加载条形 波导结构。经测试，可获得对比度较好的耦合光输出。 理论分析 由于M．Z结构电光开关的开关性能波长依赖性较强，无法在多波长输入的情况下实现较为平坦 的输出，因此本文采用了定向耦合器的基本结构，如图l所示。当相互平行的两个波导互相靠近时， 波导中的传播模式在传输过程中发生耦合，使得模式在传输中发生功率交换，这种现象称为模式定 向耦合。电极的作用为是通过施加一定的电压，使耦合区两个波导的折射率发生大小相反的变化， 改交波导的传播特性，实现两波导间的横向光耦合【5】[6I。这种方式既可作为强度调制，又可作为光开 关。 耦合区由两个相互平行的直波导组成。假设两波导的耦合较弱，各自保持独立存在时的场分布 和传输系数，耦合的影响只表现在场的振幅随耦合长度的变化。设两波导中复数振幅分别为￡t(z)和 ￡：(z)，相位常数是p。和p：，其变化规律可用以下一阶微分方程组表示 坐盟=一ik‘啦㈦ e21)“?j 1( dz —de2—(z)：一ik21e雌吕(z) (2) dz 式中△p=p，一p，为相位失配常数。k小也，是两波导的耦合常数，与波导的材料、结构和波长九 各为￡．(0)和￡．(0)，可得： (3) ￡i(z)=占l(0)cos(kz)一f￡2(0)sin(kz) 112 生璺笙婴堡塑垫垄茎：墨垒塑生三￡兰墨坚竺主墨—————————————一 ‘4’ ￡2(z)=E2(O)cos(kz)一igl(0)sin(kz) 2)则有： 写成功率形式(P=e (5) 只(z)=P,(O)eos2(止)+P2(O)sin2(拓) 2(妇)十P2(O)cos2(拓)