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ENTEKPLUSTM ENTEK PLUS HT抗氧化工艺 临时操作指引 Merix(HY) 修定日期:2006-03-21 制定:HXZ(确信电子 - 乐思化学) 抗氧化工艺流程图 机器操作设定 机机器参数 前处理同以前； 预浸将PC1030浓度提到10%，其它不变； ENTEK缸温度范围改为：32-41度； 生产注意事项 1.每班生产前更换各水洗缸DI水 2.每班生产前检查各药水缸液位并调整液位至开缸液位 3.生产前每班在液位正常时取样分析各药水参数,并调整至正常后才可开始试板生产. 4.批量生产时除油, 微蚀及预浸可按生产尺数添加进行补料, HT 则按每班化验分析进行补加. 5.生产时需将预浸及 HT 段的抽风尽量关少, 避免大量抽走药水成份. 6.停拉后关闭所有抽风系统.和进水总伐门.及电源. 7.每班须详细记录生产面积和加药数量 药水参数设定及控制 操作条件: 缸号 缸体积 (L) 开缸物料量 温度 ((C) 时间 (sec) 控制参数 范围 (最佳值) 检测频率* 脱脂 150 SC1010DE:22.5L 38-42 30-60 [SC101DE] 10-20%(15%) 每班 1 次 #1.2.3.4 清水洗 - 清水: 100% 室温 - - - - 微蚀 200 ME1020:18kg H2SO4:6L 25-35 30-60 ME1020 80-100g/L 每班 1 次 [H2SO4] 2 – 4 %(3%) 每班 1 次 微蚀量 1.0 – 2.0um 每班 1 次 [Cu] 15g/L 每天 1 次 #5.6.7.8 DI 水洗 - DI 水: 100% 室温 - 导电率 20 uS/cm 每班 1 次 氯离子 10 ppm 每班 1 次 PH 5.0 每班 1 次 预浸 240 PC1030:19.2 L 20 – 30 30-60 [PC1030] 5-10(8%) 每班 1 次 PH 8.5-9.0(8.7) 每班 1 次 [CU2+] 10ppm 每天 1 次 膜厚 200-700A 每班 1 次 #9.10.11.12 DI 水洗 - DI 水: 100% 室温 - 导电率 20 uS/cm 每班 1 次 氯离子 10 ppm 每班 1 次 PH 5.0 每班 1 次 抗氧化 500 RA: 50L RB:150L RC：2L DI水：-- 32-41 50-90 [RA] 90-110%(100%) 每班 1 次 总酸度 260-320%(290%) 每班 1 次 PH 2.8-3.1(2.95) 每班 1 次 [RB] 85-105%(95%) 每天 1 次 膜厚 0.2 – 0.6um (0.35um) 每班 1 次 膜外观 均匀有光泽 每班 1 次 #13.14.15. DI 水洗 - DI 水: 100% 室温 - 导电率 20 uS/cm 每班 1 次 氯离子 10 ppm 每班 1 次 PH 5.0 每班 1 次 #16DI水洗 DI 水: 100% 室温 - - - 烘干 - - 70 – 90 - - - 分析方法及加药计算请参照附1,2 , 34 生产手动添加设定: 缸号 补充物料 手动补加量 补充频率 除油 SC1010DE 同前 同前 微蚀 ME1020 同前 同前 H2SO4 同前 同前 预浸 PC1030 按化验数据调整 按每班分析数据调整 NH3H2O 按 PH 值调整 按每班分析数据调整 抗氧化 RA 按化验数据调整 按每班分析数据调整 RB 按化验数据调整 按每班分析数据调整 RC 根据外观进行补加 按首板外观进行补加(每次0.5ml/L) 甲酸:乙酸=1:2的混合液 根据酸度分析数据调整 按每班分析数据调整 生产/分析/加药记录: 为有效监察抗氧化工艺之稳定性, 化验室及生产部必须详细记录生产/分析/加药记录于报表中 (见附件 4.1, 4.2 4.3). 报表类型 填写部门 生产数量报表 (4.1) 生产部 加药量报表 (4.2) 生产部 分析报表 (4.3) 化验室 开缸及换缸 开缸方法: 于缸体保养后, 按以下方法开新缸: 缸号 开缸步骤 除油 向槽子中注入2/3的DI水 ； 加入22.5L SC1