精密二自由度角度调整机构.docVIP

精密二自由度角度调整机构 刘振华 周 宇 曹永强 指导教师：陈志刚 摘 要：本文对精密二自由度角度调整机构进行设计和分析，利用测微丝杆驱动柔性铰链来实现无间隙精密角度调整。在分析柔性铰链的受力及变形情况基础上，确定了其尺寸，并对其进行了理论分析和试验验证，证明达到了设计要求。最后完成了整个精密二自由度角度调整机构的设计与加工。 关键词：角度调整；柔性铰链；试验 1. 前 言 目前已经进入了“亚微米-纳米”时代，在电子、光学、机械制造等众多技术领域中，迫切需要高精度、高分辨率、高可靠性的精密角度调整机构，用以直接调整或配合其他仪器设备完成多自由度高精度的调整。精密角度调整机构在微机电系统、纳米制造技术、微电子及纳米电子技术、纳米生物工程等众多高科技领域是必不可少的重要机构，它的性能直接决定着仪器的性能。特别是光学系统中，各种调整平台中广泛应用精密角度调整机构。 本课题所研究的是光学合成孔径项目中的关键技术问题，利用易制造的小孔径系统通过光学手段合成大孔径系统，满足高分辨率的成像要求，以提高太空望远镜、侦察卫星以及武器系统的性能。它的技术难度很大，要达到合成孔径的目的，要求达到十分之一波长的精度。我们对调整机构中的精密角度调整机构进行研究。 本课题采用柔性铰链结构等创新设计实现角度调整，满足对尺寸和体积小的要求，同时具有结构简单、无间隙、精度高的优点。想法新颖，实用，可广泛用于各行各业的精密角度调节机构中，可使调节达到很高的精度，前景广阔。 2．技术要求 设计精密二自由度角度调整机构。调整范围、精度如下： 表1 调整要求 范围 精度 Δωx ±30ˊ ±0.5″ Δωy ±30ˊ ±0.5″ 3．方案选择 对于角度调整机构，由于调整精度高，若采用专门的角度调整机构，使结构尺寸大，不利于使用。因此我们采用螺旋机构，通过直线位移间接实现角度调整。对于位置调整机构，目前有多种实现机构：机械传动机构、弹性变形机构、电热式机构、磁致伸缩机构、电磁驱动机构和压电陶瓷机构，如图1所示。弹性变形机构利用两个弹簧的刚度比进行位移缩小，由于采用弹簧容易产生震荡。采用电热式机构、磁致伸缩机构和电磁驱动机构进行位移调整时，存在发热，这对光学系统是绝对不允许的。压电陶瓷机构结构紧凑、无间隙，具有很高的位移分辨率，不存在发热问题，是一种理想的驱动器。但是压电陶瓷机构行程有限，不适合该光学系统位置调整。为简化机构，不采用自动调节，手动调节即可，同时为了使调整机构简单，我们采用机械传动中的螺旋机构。考虑到螺旋机构精度低，很难达到微米级精度，我们采用了精密测微丝杆，通过传感器和测微丝杆的示值，调节螺旋机构达到要求的位置。 机械传动：结构简单，应用广泛，存在间隙、摩擦、爬行、 传动误差，精度低，需采取措施 弹性变形：采用弹簧，容易产生震荡 微位移机构 受热变形：结构简单，与周围介质存在热交换 磁致伸缩：伴随受热伸长 电磁型：始终有电流，导致发热，存在震荡 压电陶瓷：结构紧凑、无摩擦、无间隙，用于自动控制， 行程小 图1 微位移机构 4．方案设计 4.1理论分析及计算 角度调整机构采用直线调整机构间接调整，为消除调整机构间隙，我们采用柔性铰链将镜片与调整机构连接在一起。在这种情况下，要求测微丝杆不能转动，只能平动，由于结构采用柔性铰链，故先对柔性铰链进行分析。 4.1.1 柔性铰链受力分析 角度调整机构的结构简图如图2所示。根据丝杠的分辨率，调整机构的回转半径计算如下： Rθ≥S 式中， R—球绞回转半径 θ—角度调整精度，±0.5″ S—分辨率，测微丝杠的分辨率0.1μm 则， R≥41.25mm Y向球铰回转半径为RY=100mm，则带有柔性铰链的螺杆行程为： LY=RY×±sin30ˊ=±0.87mm hY= RY×(1-cos30ˊ)=0.0038mm 选取X向铰链与Y向相同。 根据以上分析，对于柔性铰链要求其在柔性方向上变形大于0.0038mm，在刚性方向上的变形要求越小越好，我们初步定变形小于0.001mm。 图2 角度调整机构 另外根据螺杆传动时不发生爬行所承受的最大轴向力F=2Kg，由图3计算可知螺杆承受的最大径向力Fr为： (F1+F2)×f=F Fr×L1=F2×L2 Fr+F2=F1 其中f=0.2，Fr =20 N，用直径为20mm的梁进行分析， mm 挠度大于0.0038mm的最小铰链尺寸L1 =46.7mm，在此基础上计算出大致的铰链尺寸：L2 =20mm，以及力F2=60N，F1=40N。 由于结构估计比较粗略所以对结构进行更一步的ANSYS分析，并对铰链结构尺