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超磁致伸缩微位移驱动器的非线性迟滞建模及控制方法精选
43 6 Vol.43 No.6
2 0 0 7 6 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Jun. 2 0 0 7
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GMA F GMA
Preisach F Preisach
GMA Preisach Preisach PID
PID Preisach PID GMA
Preisach PID GMA GMA 100 µm
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