电子工业厂房微振动实测分析研究.pdf

V01．28 第28卷增刊 防灾减灾工程学报 Suppl． ofDisasterPreventionand Sep·2008 2008年9月 Journal Mitigation Engineering 电子工业厂房微振动实测分析。 高广运，李 宁，熊 浩，方春平 (同济大学地下建筑与工程系；同济大学岩土及地下工程教育部重点实验室，上海200092) 摘要：采用高灵敏度加速度传感器，对国内某电子工业厂房微振动进行现场实测，获得了正常生产与厂房周围有汽 车行驶两种工况下各测点的加速度时程数据。采用国际上通用的1／3倍频程法对测试数据进行了处理，并对结果进 行了比较与分析，得出了柱项和井格梁顶振动响应规律，为该工程及其微电予行业相关建筑的防微振设计提供依 据和借鉴。 关键词：电子工业厂房；微振动；测试；1／3倍频程 中图分类号：TU435文献标识码：A 文章编号：1672—2132(2008)增刊一0093—04 结论，为该工程的防微振设计及其微电子行业相关 0 引言 建筑的防微振设计提供依据和借鉴。 近年来，随着我国高科技产业步伐的加快，许多 1 工程概况 电子工业厂房正在各地兴建。由于电子产品的特殊 性，高科技电子工业厂房对微振动的要求要高于普 1．1微振动要求 通厂房。太大的环境振动会影响精密生产设备的对 某电子工业厂房位于我国南部沿海菜市区残丘 准、曝光、量测、修补结果及显微影响辨识，进而降低 山地区，该场地距海边较近，海洋波浪影响明显，场 产品的合格率，延长生产时间，最终使电子产品损失 地周围有国家级道路通过，因此工程场地的振动情 或失去竞争力。然而，目前大多数电子工业厂房都建 况复杂。然而，由于生产工艺的要求，位于生产车间 在大中城市的科技开发区，周围的交通设施引起的 中的曝光机工作平台需要振动严格控制在一定范围 环境振动在所难免。所以，为了避免环境微振动对生 之内，微振动控制标准如表1所示。 产造成不良影响，很多精密电子生产厂都有严格的 表1 曝光机工作平台微振动控制标准 微振动控制要求和厂房抗微振措施。因此，对电子工 业厂房进行微振动测试及评价分析，对了解其振动 现状以及采取相应措施是非常重要的[1矗]。 关于电子生产设备等精密仪器的环境振动评价 标准，Amick[31认为，测试数据的处理采用何种度量 1．2主要问题 单位如位移、速度、加速度都没有本质的差别，但最 好在频域内采用均方根值(RMS)进行分析。Gordon该厂为扩大生产，拟在原主厂房14轴～16轴／ 回顾了振动敏感仪器的各种环境振动评价标准曲线 G轴～K轴间区域新增3台曝光机。除了经过柱网加 (VC曲线)L4]，这些标准主要是为振动敏感仪器的 密的14轴～15轴／G轴～H轴间区域属于抗微振区 生产和隔振措施提供设计依据。 外，其他部分均属于非抗微