电子器件分析用新型显微红外热像仪研究.pdf

微电子与电子器件技术 电子器件分析用新型显微红外热像仪 高美静1，2金伟其1王海岩3 1北京理工大学光电工程系，北京，10081，mdabgirl@bit．edu．cn 2燕山大学光电子系，河北省秦皇岛市，066004 3北京大立宏源科技发展有限公司，北京，100081 摘要：为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段，完成电子电路的故 障检测、失效分析和可靠性检测等，本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的显微红外热像仪。介绍 了系统的工作原理、系统构成、工作过程。研究了显微红外热像仪噪声等效温差(NETD)和噪声等效辐射 率差(m)模型，为系统的设计提供了理论指导。提出了一种自适应的非均匀校正算法，并基于ⅥSualC++ 完成了整个系统的软件设计。实际图像采集和处理结果表明了本系统设计的合理性，该系统将加速我国在电 子制造和应用领域的发展。随着产品化，本系统将会用到其他需要显微热分析的场合，具有广泛的应用前景。 关键词：电子器件：故障检测；失效分析：可靠性检测；显微红外热像仪 Abst陀Ct：horderto minute for deVice趾dt0 supply也ethe咖al蛆alysissemiconductorPCB姐d power complete thefailure anoVel thernlal based testing，inVaJjdationanalysis，reliabiH哆detecdon．、Ⅳepropo∞d digital microscope andthe onthe吼cooIedfocal detector．Wethe cons咄tion pIaJle giveopen6ngp血cipk，system’s modeofnoise difcerence(NETD)．11unhe曲ore、Ⅳe equivalenttemperature thesoffwareba∞donVisualC++for也eIrFPA．ReslIltSofrealthe衄aLI correction如。咖曲蛆d imageexpe血1e珧 thattlle it、Ⅳm the havesh伽m is 0fthe digitalthe姗aLl血croscopedesignedSucce豁舢y．ThusimproVedevelopm明t 0f elec仃onic and the the皿al canbe m卸施ctllringapplication．W曲．thedeVelopmentsystem，thedigital microscope usedinother丘eldS姐dhaSabrightprospect． Key、『I，ords：Elec缸DnicD喇ce；FailureTes血g；malidation 1 引言 近年来，半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件发挥着越来越重要的作用，在很多领域得到广 泛的应用。这些电子器件的性能直接影响了整个系统的性能，它们的可靠性起到了很重要得作用。．因此，如 何有效的