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HSC-3500气相沉积炉计算机控制系统使用说明书 前言：下图为本控制系统对应的实际工作组成部件 ⑴ ⑵ ⑶ ⑷ ⑸ ⑷ ⑥ ⑴ 为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。 ⑵ 为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体。 ⑶ 2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内 ⑷ 过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除， ⑸ 真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内 ⑥ 加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制 内容：为了使上述元器件能够协调工作，工作人员更具可操作性，用于控制的计算机设置了多重画面，多个运行参数，使得工作过程更加直观，操作更加简便，各操作画面解释如下。 启动初始画面， 按“进入工作系统”键进入主控画面，开始工作。主控制板在系统工作过程中起到整体监控作用，系统运行时的主要参数都反映在本画面当中 ⑴ ⑵ ⑶ ⑷ ⑸ ⑥ ⑺ ⑻ ⑼ ⑽ ⑾ ⑿ ⒀ ⒁ ⑴ 加热磁性调压器工作状态，显示“正常”、“故障”两种状态 ⑵ 报警滚动条，显示上电状态及有报警标志 ⑶ 实时曲线显示，反映当前三个温度和一个绝对压力随时间变化规律 ⑷ 炉内绝对压力数值显示，反映内部工作时的气体压力 ⑸ 充气管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑥ 炉内三个温区的温度数值显示，反映内部工作时的三个不同部位的温度 ⑺ 示意条显示气体流动方向 ⑻ 抽空管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑼ 示意条显示气体流动方向 ⑽ 抽空管路上的1#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑾ 抽空管路上的2#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑿ 抽空管路上的1#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态 ⒀ 抽空管路上的2#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态 ⒁ 功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去主意参数的记录信息画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件的记录信息画面 “气氛控制”如下控制画面， 充气电动蝶阀调节器为反向调节器，抽空电动蝶阀调节器为正向调节器 ⑴ ⑵ ⑶ ⑷ ⑸ ⑥ ⑦ ⑴ 显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态 ⑵ 炉内绝对压力数值显示，截取1000Pa以内的压力值，作为调节的控制反馈量 ⑶ 实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合动作 ⑷ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮， ⑸ 控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态， ⑥ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮 ⑺ 电动蝶阀的工作状态的控制按