传感器第6章++电容式传感器.ppt

6.3 电容式传感器的信号调理电路 1. 电桥电路 2.调频电路 3.谐振电路 4.运算放大器电路 5.脉冲宽度调制电路 6.正反馈同相积分电路 1. 电桥电路 4. 运算放大器式电路 特点： 能够克服变间隙电容式传感器的非线性，使V－X 成线性关系。 6.4 影响电容传感器精度因素及提高精度的措施 6.4.2 漏电阻 使传感器灵敏度下降 输出产生零位漂移 6.4.3 边缘效应 使传感器灵敏度下降 非线性增加 6.4.4 寄生电容的影响 寄生电容：电容器极板与周围物体之间产生的电容联系。 危害：使传感器电容改变，导致传感器特性不稳定，从而带来干扰。 1.电容式测微仪 用以测量金属表面状况、距离尺寸、振幅等参数，一般采用单极式变间隙电容传感器,即被测物体作为传感器的一个极板，另一个极板在传感器内，最小检测量为0.01μm。 2.差动电容式压力传感器 6.6 小结 电容式传感器有如下特点 参数变化大、极低的内耗性能 、高的动态响应。 2) 对介电常数的影响 原因：介质的介电常数有不为零的温度系数，产生附加电容。 可由后续测量线路进行补偿，但不可完全消除。 To Two 选用绝缘性能良好的材料作两极板支架，如陶瓷、石英等； 采用高的激励电源频率，降低传感器内阻抗。 电容式传感器的电容量很小，如果激励频率较低时，内阻抗就很高，所以绝缘问题就很突出。一般的绝缘电阻将被看做是对电容式传感器的一个旁路，与之并联，称为漏电阻。 To Two 增大初始电容，即增大极板面积或减小极板间距 加装等位环 To Two 缩短传感器至测量线路前置级的距离，即集成化。 驱动电缆法（等电位屏蔽法） 内屏蔽层与芯线通过1：1放大器而等电位，从而消除芯线与内屏蔽层之间的电容。 一般用于当电容传感器的电容值很小，而因某些原因，测量电路只能与传感器分开时，可采用这种方法。 整体屏蔽法 将整个电桥用一个统一的屏蔽罩保护起来 6.5 电容式传感器的应用 To Two （动电极） （固定电极） （固定电极） 当被测压力或压差作用于膜片并产生位移时，形成一个差动式极距型传感器。 * * 第6章 电容式传感器 6.1 电容式传感器的工作原理及结构形式 6.2 传感器的等效电路 6.3 传感器的信号调理电路 6.4 影响传感器精度的因素 6.5 传感器应用 工作原理：利用电容器的原理，将被测非电量转化为电容量的变化。 优点：结构简单、体积小、分辨率高、频响范围宽、可非接触测量。 缺点：电容量小，输出阻抗高；存在寄生电容，导致性能不稳定；有的传感器输出特性为非线性。 应用：位移、振动、加速度、压力、液位、湿度等。 6.1 电容式传感器的工作原理及结构形式 电容式传感器的电容极板之间存在静电场。由于极板边缘效应的存在，使边缘处的电场分布不均匀，造成电容的边缘效应，这相当于在传感器的电容里并联了一个附加电容，边缘效应不仅使电容式传感器的灵敏度降低而且产生非线性，因此应尽量减小并消除电容边缘效应的影响。 根据电容器变化参数的不同，分为3种类型： 变间隙式：测量微小（0.01μm-零点几m m ）线位移； 变面积式：测量角位移或较大线位移； 变介电常数式：测量液位、固体厚度、介质湿度、密度。 6.1.1 变间隙式电容传感器 有了云母片，极板间起始距离可大大减小。 差动式电容传感器 差动结构的优点： 灵敏度提高一倍； 非线性误差大大下降； 还能减小静电引力带来的误差，改善环境影响造成的误差。 6.1.2 变面积式电容传感器 （1）角位移式 （2）线位移式 增大极板边长b，减小间隙d，都可以提高灵敏度。但边长a过大，边缘效应会影响线性特性。 6.1.3 变介电常数式电容传感器 （1）测量液位 （2）测量纸张、绝缘薄膜厚度或粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质湿度 ε0 ε1 d0 d1 如果ε0 为空气介电常数， ε1为待测体介电常数，当待测体介电常数ε1不变时，此时电容传感器可作为测厚仪。 6.2 电容式传感器的等效电路 Rp—极板间的泄漏电阻和介质损耗 Rs—引线电阻、电容器支架、极板电阻损耗 L—电容器本身电感和外部引线电感 因此，它有一个谐振频率，传感器要正常工作，应选择低于传感器谐振频率的工作频率，否则，电容器不能正常工作。 To Two 目的：传感器电容值非常微小，必须通过信号调理电路将微小电容变换成与其成正比的电压、电流或频率的变化，这样才可以显示、记录以及传输。 滤波 K 相敏 检波 L1 L2 C1 C2 ~ To 4.2.3 电路灵敏度和稳定性较高，且寄生电容影响小，因此简化屏蔽和接地，适于高频工作，应用很广泛。但电桥输出电压幅值小，输出阻抗高，其后必须接高