套刻编程操作规范.pptVIP

套刻编程操作规范;4.0输入： 键盘和鼠标，如下图： 常用的有： 1：鼠标左键，中间键和右键 2：鼠标滚轮 3：键盘“PF4”键 5.0输出： 电脑显示器以及打印机 ;6.0绩效指标： 无。 7.0责任： 编程人员有责任确保所编程序的正确性及测量数据的有效性。;8.0 KLA5100编程基本操作步骤： 8.0.1登陆 如下图所示输入”用户名“及“密码”，出现右图所示主界面;8.0.2 新建产品文件夹 如下图所示点击”File”图标，出现下页所示界面;选择“RECIPE”,在其目录下点击上面红框所选图标进行新建文件夹。;1：询问是否保存之前程序（Save Changes to Current Program?)?No2：打开”Recipe”目录下的相应产品文件夹;1：以产品“XE8010”为例，选择该文件夹，如左图2：右图File name中输入程序名称（以产品名-STAGE规则），如XE8010-NGT3：点击”ok”,然后出现以下图示;1：默认选项为“KLA Defaults”,不需要改动，直接点击”OK”，出现右图2：点击‘Parameters”，出现下图;1：输入该产品曝光场尺寸，可在相应光刻机程序中查询，注意单位是”mm”2：选择进片后平边朝向，这里选择：270°3：点击：”Wafer Selection” 出现右图?选择“User Random”4: 点击”Privileges”,出现下图;1：选择左图中3个选项，2：点击“RUN”,出现右图3：点选：”Store ASCII File Results”，选择“Append to Existing File”4: 选择”Run Mode”下的“Assist on Fail”5: 点击：”Statistics“出现下图;1：点选左图所示选项?点击”ok”出现右图2：选择“Wefer Handling”出现下图;1：点击图示中Cassette蓝色图标，机器会自动扫描片盒中Wafer的位置，见右图2：以下步骤是要让Cassette中的wafer传输到Chuck上先点击”Transfer”,然后点选wafer（如slot02）,再点击右图中Chuck图标此时机器会将点选的wafer传输进去3：待机器停止后点击”close”退出，出现如下界面;1：点击”Alignment”跳出如图界面，点击“Align”出现右图这里步骤是教导Wafer偏转，目的是要让平边对准自己，处于水平。控制图像移动到平边附近，如下图;此步目的是教导偏转对位图形1.按鼠标中键跳出如左图选项，选择”T”来调整wafer偏转，使平边处于水平2.对位图像教导，要求如下：a. 红框内有黑白分明的图像，如右图中的3个图像b. 往上走一个曝光场，红框内的图像要和之前的一样基于以上2个原则，只有红框1是符合的。然后点击”EXIT” 或者按键盘上的PF4,此时机器会自动定位，调整偏转;1：如果对位合格，会出现左图中框1中的提示“Alignment train completed”,如果没有出现则需要重新进行以上步骤。2：教导12k下对位图形点击左图中框2所示”Train Eyepoint”出现右图此步要求在“12k”倍率下教导“唯一的图像”，优先选择没有曝光的边缘部分，如下图：;1：如左图所示，红框内为“唯一图形”，【对位图形要求如下】：a.如整片WAFER没有此类唯一图形则可以寻找其他唯一部分，但不要找打标的地方，这样不能保证每片WAFER都一致。b.图像内黑白分明选定对位图像后点击”EXIT” 或者按键盘上的PF4,此时会自动调整到“750”倍率下，见右图。2：点击鼠标右键，此时会自动对焦,出现下图;1：此步目的是教导”750”倍率下的对位图形，要求如下：a.红框内图像唯一b.红框内图像黑白分明选定对位图像后点击”EXIT” 或者按键盘上的PF4,此时机器会自动进行对位动作，完成后出现如下界面。;1：如果对位成功则出现左图所示”Eyepoint train completed”,否则重复以上步骤点击“CLOSE”，退出ALIGNMENT，回到右图所示界面。2：选择“WeferMap”出现下图;1：此步要求指定WAFER左下角位置切换到“12k”倍率下，找到如右图所示位置2：选定后点击”EXIT” 或者按键盘上的PF4,此时机器会自动扫描出整片WAFER图像，见下图：;1：移动红圈套准WAFER边缘，如右图，点击鼠标左键，出现下图;1：此时询问”CONTINUE OR PLACE THE BORDER AGAIN ? CONTUNUE”点击鼠标左