ch.05-热流体工程和微系统设计PPT.ppt

I like the dreams of the future better than the history of the past. ---- T.Jefferson (the third president of USA） ;微流体器件概述 流体力学基本知识 流体对固体的作用力 流体动力学的N-S方程 表面张力及毛细效应 流体模型 固体中的热传导 微纳米尺度的流体流动;微流体器件概述;(1)微流体传感器; 1993年，V.Gass等人研制了基于粘滞力的机械式微流量传感器，其结构如图所示。该传感器利用压阻效应检测流量：流体从入口流入传感器，产生的粘滞力作用于悬臂梁，使悬臂梁产生形变，从而引起压敏电阻阻值的变化。压阻式微流量传感器的特点是制作工艺相对简单，响应速度快，但一般受温度的影响比较大。 ; 黏度/密度传感器;(2)微流体执行器;;左图所示为中国台湾国立成功大学设计的新型微加热通道结构。右图所示为微加热通道晶片。内部有21组多晶硅微温度传感器，11组多晶硅微压力传感器和2组微加热器。经测试发现，当微通道高度为因此可以利用该器件设计开发新型冷却散热晶片，有效地解决目前CPU的散热问题。 ; 微阀;永磁体;美国MIT的静电致动阀; 微泵;美国斯坦福大学研制的压电致动蠕动泵。顺序施加电压，使压电片弯曲变形，三个单元分别执行出、入口单向阀和泵腔的功能，循环往复导致流体的定向流动。施加电压80V，无背压时流量约为100?L/min。流量在频率小于15Hz时随驱动频率线性增加，频率大于15Hz时逐渐减小。 ;荷兰Twente大学于1983年开始进行微泵的研究，于1988年研制成功硅基压电驱动的有阀型微泵。图示是其研制的压电致动微泵，利用压电片驱动玻璃泵膜实现功能。该泵流量小于10?L/min，最高背压为19.6kPa，工作频率低。 ;静电驱动微泵的特点是功耗低，大约为1mW，薄膜的形变可简单地通过供电电压控制，响应速度快，工艺简单； 其不足之处是驱动电压较高。为了降低驱动电压，法国南巴黎大学于1997年研制了如图所示的静电致动微型泵，将驱动电压降低到10V以下。该微泵主要应用于药物传送。; 微混合器 ;Robin H.Liu等人设计的一种三维蛇型管道微流体混合器如图所示。整个三维立体结构由KOH双面腐蚀而成，混合器中带有”C”型重复单元。蜿蜒曲折、具有二维(或三维)结构的微管道中存在着与主流垂直的次流，次流的加强使流体中形成对流，进而使流体扭曲拉长，增加流体接触的面积，增强了流体混合能力。 ;分流式混合器是先分别将两流束分成很多细小的支流，汇合后进行混合，如左图所示 。截流式混合器是在管道中放入阻隔物，以此扰乱流场，如右图所示，这种混合器又称之为静态混合器。这两种混合器都可有效地增加两种流体的接触面积。 ;流体力学基本知识;(1)流体的粘性; 微小的剪切力都能够引起流体的流动。如图所示，剪切变形可被认为是由放置在块状流体上下表面的一对平板的相对运动产生。;剪应力τ可表示为;切应力与切应变率之间是线性关系。具有这种线性 关系的流体被归类为牛顿流体，如图所示。;由运动平板引起的流体流动速度分布如图所示。 ;流体力学分析中采用了另一种流体粘性的度量，称为 运动粘度υ。 运动粘度是动力粘度与同温下的密度之比值， υ＝μ/ρ（帕·秒）。 动力粘度是稳态流动中的剪切应力与剪切速率之比值。（米2／秒）;流线定义：运动流体中任意一点的轨迹。 流线方向：与流体中运动点的运动方向一致 流线特性： 没有流动能够穿越流线 任意两条流线都不相交 流动的任何边界线一定也是流线 在稳态流中，流线可随时改变其位置和形状 ;（3）雷诺数;（4）连续流动方程;流动速率表达式的推导过程;根据质量守恒定律得;当Δt→0，可得 则一维流动的连续性方程为：; 对于不可压缩流体，上式可用来计算体积流速 ;例题5-1; 微流量系统的液体供给;解: 由于流速较低，假定流体处于层流状态，进一步假 定液体保持稳态流动状态 由题意得 Q=1×10－6 cm3/min=1.67×10－14 m3/s 节流器的进口和出口的截面积为 ;将上面的已知条件代入体积流速方程，可以得到节 流器进口和出口的流速分别为;（1）动量方程; 如图所示的二维稳态流动，控制体ABCD经过一个微小的运动到达A’B’C’D’位置。;在dt 时间内控制体内的动量变化为 ;稳态流动的条件下 ，即;（2）伯努力方程;伯努力方程的推导;推导的关键：对所有作用在单元切向和法向的力的 分量求和，并根据牛顿定律建立所施加的压力和单 元运动速度的关系式。牛顿定律表达为;加速度分量与流体单元的速度关系为;当x轴