第一章薄膜材料科学与技术作用.pptVIP

半导体薄膜技术与物理 叶志镇 2009.9 薄膜材料科学与技术作用 The Materials Science of Thin Films by Milton Ohring Preface Thin-film science and technology play a crucial role in the high-tech industries that will bear the main burden of future American competitiveness. While the major exploitation of thin films has been in microelectronics, there are numerous and growing applications in communications, optical electronics, coatings of all kinds, and in energy generation and conservation strategies. A great many sophisticated analytical instruments and techniques, largely developed to characterize thin films and surfaces, have already become indispensable in virtually every scientific endeavor irrespective of discipline. 主要参考书目 中文： 《半导体薄膜技术与物理》，叶志镇等，浙江大学出版社，2008 《薄膜材料制备原理、技术及应用》，唐伟忠，冶金工业出版社，2003 《薄膜技术》，顾培夫，浙江大学出版社，1990 《硅外延生长技术》，B. Jayant Baliga著，任丙彦等译，河北科学技术出版社，1992 《外延生长技术》，杨树人等，国防工业出版社，1992 。。。。。。 英文 《The materials science of thin films》, Milton Ohring，1991 《Handbook of thin-film deposition processes and techniques 》， Krishna Seshan，Noyes Publications， 2002 。。。 1.1.1 真空的定义 1.1.2 真空表示 1.1.3 真空度单位 1.1.4 区域划分 1.2 真空的获得 真空泵的种类及工作原理 3、分子泵 工作原理： 处于气体中的固体表面以一定方向运动，所有飞到这 表面的气体分子，经过碰撞后都具有一定的分速度，其 大小与方向等于固体的速度。 Turbo-Molecular泵：通过高速旋转的涡轮叶片，不断 地对气体分子施以定向的动量和压缩作用。 需要前置真空泵（10-3Torr） 4、溅射离子泵 5、吸附泵 6、升华泵 1.3 真空测量 1、热真空计： 工作原理：在低真空时，热传导则与压强成正比 A、皮拉尼（Pirani）真空计：测定因温度变化引起灯丝电阻的变化 B、热电偶：用热电偶测定温度变化引起电动势变化的真空计 Q = Q1 + Q2 + Q3 辐射 传导 气体 ? (T1，T2) = e (T1)-e (T2) e (T1)、e (T2) 是接点的分热电动势 关于热电偶：（1）热电动势仅与热电偶的材料和接点温度有关 （2）中间导体定律：热电偶回路中，加入两端温度相同的中间导体，不会影响热电动势。 2、电离真空计 热阴极电离真空计 1.4 真空度对薄膜工艺的影响 * * 第一章 真空技术 许多薄膜技术是在真空下实现的，“真空”是许多薄膜制备的必要条件，因此，掌握一定的真空知识是必需的。 1.1 真空的基本概念 压力低于一个大气压的任何气态空间 气体处于平衡时，气体状态方程 P = nkT P：压强（Pa），n：气体分子密度（个/米3），k：玻尔兹曼常数（1.38×10-23 J/K） V：体积（m3），m：气体质量（kg），M：分子量（kg/mol） R：气体普适常数，T：绝对温度（K），R=