传感器1415章节.pptVIP

14.1 概述 气体传感器是指能将被测气体浓度转换与其成一定关系的电量输出的装置或器件。气体传感器必须满足下列条件： （1）能够检测爆炸气体的允许浓度有害气体的浓度，并能及时给出报警、显示和控制信号。 （2）性能长期稳定性好； （3）响应迅速，重复性好； （4）维护方便，价格便宜等。 14.2 半导体气体传感器 非电阻式气体传感器利用气体吸附和反应时引起的功函数变化来检测气体。它可分为： 金属-半导体结二极管型传感器（利用金属与半导体界面上吸附气体时，二极管整流特性的变化）； MOS二极管型传感器（采用MOS结构，通过C-U特性的漂移检测气体）； MOS FET型传感器（通过MOS FET的阈值电压变化检测气体）。 3. 主要特性及其改善 （1）主要特性 （2）气体浓度特性 （3）初始稳定、气敏响应和复原特性 一、 气敏电阻的工作原理 气敏电阻的材料是金属氧化物, 在合成材料时, 通过化学计量比的偏离和杂质缺陷制成, 金属氧化物半导体分N型半导体, 如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等,P型半导体, 如氧化钴、 氧化铅、氧化铜、氧化镍等。为了提高某种气敏元件对某些气体成分的选择性和灵敏度, 合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。 第十五章 湿 度 传 感 器 第十四章 气体传感器 ? 1. 半导体气体传感器是利用半导体气敏元件同气体接触,造成半导体性质发生变化,借此检测特定气体的成分及其浓度。 用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。  2. 分类 气体传感器利用半导体与气体接触时电阻或功函数发生变化这一特性检测气体。气体传感器分为电阻式与非电阻式两种。 电阻式采用SnO2、ZnO等金属氧化物材料制备,有多孔烧结件、厚膜、 薄膜等形式。根据半导体与气体的相互作用是发生在表面还是体内，又分为表面控制型与体控制型。 金属氧化物在常温下是绝缘的, 制成半导体后却显示气敏特性。 通常器件工作在空气中, 空气中的氧和NO2这样的电子兼容性大的气体, 接受来自半导体材料的电子而吸附负电荷, 结果使N型半导体材料的表面空间电荷层区域的传导电子减少, 使表面电导减小, 从而使器件处于高阻状态。 一旦元件与被测还原性气体接触, 就会与吸附的氧起反应, 将被氧束缚的电子释放出来, 敏感膜表面电导增加, 使元件电阻减小。 该类气敏元件通常工作在高温状态（200~450℃）, 目的是为了加速上述的氧化还原反应。  由上述分析可以看出, 气敏元件工作时需要本身的温度比环境温度高很多。因此, 气敏元件结构上, 有电阻丝加热, 结构如图（a）所示, 1和2是加热电极, 3和4是气敏电阻的一对电极。氧化锡、 氧化锌材料气敏元件输出电压与温度的关系如下图（b）所示。  二、 气敏传感器的种类 气敏电阻元件种类很多, 按制造工艺上分烧结型、薄膜型、厚膜型。  （1） 烧结型气敏元件将元件的电极和加热器均埋在金属氧化物气敏材料中, 经加热成型后低温烧结而成。 目前最常用的是氧化锡（SnO2）烧结型气敏元件, 它的加热温度较低, 一般在200~300℃, SnO2气敏半导体对许多可燃性气体, 如氢、 一氧化碳、 甲烷、丙烷、乙醇等都有较高的灵敏度。  （2）薄膜型气敏元件采用真空镀膜或溅射方法, 在石英或陶瓷基片上制成金属氧化物薄膜（厚度0.1μm以下）, 构成薄膜型气敏元件。  氧化锌（ZnO）薄膜型气敏元件以石英玻璃或陶瓷作为绝缘基片, 通过真空镀膜在基片上蒸镀锌金属, 用铂或钯膜作引出电极, 最后将基片上的锌氧化。氧化锌敏感材料是N型半导体, 当添加铂作催化剂时, 对丁烷、丙烷、乙烷等烷烃气体有较高的灵敏度, 而对H2、CO2等气体灵敏度很低。若用钯作催化剂时, 对H2 、CO有较高的灵敏度, 而对烷烃类气体灵敏度低。因此,这种元件有良好的选择性, 工作温度在400~500℃的较高温度。 （3）厚膜型气敏元件将气敏材料（如SnO2、ZnO）与一定比例的硅凝胶混制成能印刷的厚膜胶。把厚膜胶用丝网印刷到事先安装有铂电极的氧化铝（Al2O3）基片上,在400~800℃的温度下烧结1~2小时便制成厚膜型气敏元件。用厚膜工艺制成的器件一致性较好, 机械强度高, 适于批量生产。  以上三种气敏器件都附有加热器, 在实际应用时, 加热器能使附着在测控部分上的油雾、