杂质诱导磷锗锌晶体光学薄膜激光损伤的研究.PDFVIP

中 国 激 光 第42卷 第6期 CHINESEJ0URNALOFLASERS V01．42．NO．6 2015年 6月 June．2015 杂质诱导磷锗锌晶体光学薄膜激光损伤的研究 郝明明 路国光 汪丽娜。秦 莉。朱洪波。刘 夏 工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室，广东广州 510610 。工业和信息化部电子第五研究所可靠性研究分析 中心，广东 广州 510610 。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室，吉林 长春 130033 摘要 对磷锗锌 晶体光学薄膜激光损伤 的机理进行 了实验和理论研究。将 同一批生长的磷锗锌 晶体切割为6块 ， 并利用相同的工艺对这些晶体进行抛光 ；对其中4只样 品镀制双波段多层增透膜 ，利用扫描电子显微镜观察这4只 样品的光学薄膜形貌，发现薄膜的大部分区域成膜质量较好，但也有小部分区域形成团簇；利用二次离子质谱仪分 析 了薄膜 的组成成分 ，发现在该薄膜 的ZrO：层含有Pt元素 ；利用波长为2p．m、脉宽为31ns的固体激光器对磷锗锌 晶体样品进行激光损伤阈值测试 ，得 出4只镀膜样品的激光损伤阈值平均值为0．68J／cm ，其他2只未镀膜样 品的损 伤 阈值平均值为 1．1J／cm 。利用有 限元仿真方法计算 了杂质作用下薄膜的激光损伤 阈值 ，研究 了杂质颗粒 的半径 和填埋深度对损伤阈值 的影响，计算 了薄膜 的理论激光损伤 阈值 ，证 明了Pt杂质颗粒 的存在对磷锗锌 晶体表面增 透膜 的激光损伤阈值有很大影响，所以控制该杂质的浓度对提高薄膜 的损伤 阈值具有重要意义。 关键词 薄膜；激光损伤；杂质诱导；磷锗锌晶体；有限元仿真 中图分类号 0436 文献标识码 A doi：10．3788／CJL20l542．0607001 Studyon LaserDamageofOpticalThinFilm sonZinc。_Germanium Diph0sphideCrystalInducedbyInclusion HaoMingming LuGuoguang WangLina。 QinLi。 ZhuHongbo。 LiuXia KeyLaboratoryonReliabilityPhysicsandApplicationofElectronicComponent，The5 ElectronicsResearch Instituteof theMinistry ofIndustry andInformationTechnology，Guangzhou，Guangdong510610，China 2ReliabilityResearchandAnalysisCenter，The5 ElectronicsResearchInstituteof theMinistry of Industryand InformationTechnology，Guangzhou，Guangdong510610，China StateKeyLaboratory ofLuminescenceandApplication，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics ChineseAcademyofSciences，Changchun，Jilin130033，China Abstract Thelaserdamagemechanism forthinfilmsonzinc—germaniumdiphosphide(ZGP)crystalisstudied experimentallyandtheoreticallytoenhancethelaserinduceddam