纳米级计量技术的发展现状及应用精选.pdfVIP

维普资讯 一 导 弹 与 航 天 运 载 技 术 1994年第 6期 MISSILESAND SPACEVEHICLES 璺星 旦塑 纳米级计量技术的发展现状及应用 堡苎墨 坚 冷德梅 (航天工业总公司航天第一计量测试研究所) 二《)牛 丁B7I 摘要 纳米组计量技术是解决 目前和未来许多高精度、高分辨力问题的先 条件之一。拳文简要地介绍 T国内外纳米技术的发展现状厦未来的发展趋势，讨 论 了实现 纳米组计量技术 的几种方 法。通过 实例 ，说 明 T纳束技术对航 天 高科技 发展 的必要 性。 ‘ 主题词 鱼量型量 ，发展趋势口纳；绺【停 1 引 言 纳米(nm)l~P为 10m。纳米技术定义为尺寸或公差范围为 0．1～lOOnm 的测量、制造 等技术。随着现代科学技术的不断发展，众多高科技领域均已进入了纳米世界，如航天产 品的加工与制造、精密元器件的测量、电子工业高密度半导体集成电路等等。由于纳米范 围具有非常接近于原子和分子大小的尺寸，而一般的常规技术已不再适用，因此，研究纳 米技术，特别是纳米计量技术就成为当前各国计量研究机构面临的紧迫课题。所谓纳米计 量技术，就是以纳米级最佳不确定度来研究、研制和校检计量标准仪以及材料标准等的测 量技术。 进入 90年代以来，纳米计量从只有计量专家对其感兴趣发展为当今代表精密测量的 最先进的几何量计量技术。目前，国外一些研究机构不仅已在表面轮廓，长度、基本常数 等测量上达到了纳米级，而且还在一维位移和微观形廓测量上实现了O．1纳米级，大大推 动了科研技术的发展 J。 由于多种原因，我国纳米计量技术的研究工作大大落后于西方发达国家，已经直接影 响到了我国新技术的发展。比如，在我们航天领域，众所周知的惯性制导仪表精度的高低 直接影响着导弹的命中精度，而惯性制导器件的加工和装配精度是保证惯性制导仪表的关 键。由于我们的计量标准精度不高，无法为提高惯性制导器件的加工和装配精度提供可靠 的保证，制约了武器装备和型号研究的进一步发展。为此，立即加速开展纳米计量技术的 研究，是我们面临的一项迫切任务。 本文于 1994年 1月4目收到 — — 54—— 维普资讯 2 国外发展情况及动向 2．1 发展现状 纳米计量这个名称最早出现于 1974年。当时，为了解决电子和机械制造业中纳米级 公差及粗糙度问题而由 日本人Taniguchi提出了这个概念。他认为，在 帅 年代末和90年 代，为满足工业发展需要，0．1～lnm范围内的加工制造精度将是必需的。因此，他提出 要大力研究纳米技术，研究应用纳米技术所必需的纳米计量及仪器制造技术，这个提法很 快就受到了欧美发达国家的高度重视，并投入了大量人力、物力。 仅仅过 了8年，Bmmg等人便发明了扫描隧道显微镜fsTM)，其水平分辨力达到 0lnm，高度分辨力在 001rim 以下，可 以直接用它观测到原子和分子。这项发明为人类 进一步 了解微观世界 ，为创立纳米技术奠定了基础，因而荣获 1986年度诺 贝尔物理学 奖。接着，在 1986年，Binnig等人又研制成功了原子力显微镜 AFM(AtomicForceMi． croscope)。这两种仪器的分辨力远比用其它方法如光学式、触针式、电容式和电子显微 式方法制成的仪器的分辨力高得多。与 STM 相比较，AFM 的分辨力与其基本相同，不 同的是：STM 只能观测导电样本 ，而 AFM 既可观测导电样本，也可观测非导电样本。 从长远 的发展来看 ，如果能将 AFM 触针尖做得更为精细 的话r针尖半径达到 10-- 25rim)，则