双波段减反射薄膜的研究.doc

本科毕业设计论文 题目：可见和近红外双波段减反射膜的研究 院、 系： 北方信息工程学院 学科专业： 光电信息工程 学 生： 高建华 学 号： 指导教师： 潘永强（副教授） 2010年 6可见光和近红外双波段减反射膜的研究 摘 要：本文以K9玻璃为基底对宽带双波段减反膜的设计与制备工艺进行了研究详细说明了宽带双波段减反膜的膜料选择、膜系设计、采用离子束辅助沉积及采用法镀制该膜系的过程。应用Auto film软件设计出了在：0.43-0.9um范围内的宽带双波段反射膜的峰值透过率Tp≥95.4%，平均透过率Ta≥94.6%，在1.54um处的透过率不低于93.5%。 Visible and near infrared dual-band anti-film Abstract In this paper, K9 glass substrate for broadband dual-band antireflective film design and production process were studied, The preparation of multilayer dual-band antireflection coatings were described by choose film material, film design, using ion-beam assisted deposition and using the method optical control to make the film coating . Auto film software application design in：the range is from 0.43~0.9um, peak transmission reach to 95.4%,the average transmittance reach to 94.6%. the range is in 1.54um , peak transmission not less than 93.5%. Keywords: Broadband dual-band anti-film; ion-beam plating deposition; transmittance; thickness control; 1 研究背景和意义 目前，国内军用光电仪器上一般采用波长1.064um激光测距机，因其激光脉冲能量较大，人眼对这一波长敏感故对操作者的眼睛安全有一定影响，易对人眼造成伤害，且1.064um波段的光在大气传输中穿透烟雾、灰尘的能力差，回波率较低，最大测程受天气能见度的影响很大。而1.54um波长的的激光对人眼的损伤阈值比1.064um波长的激光高20万倍，因此，1.54um波长的激光对人眼安全，大气传输性好，透过战场烟雾和灰尘的能力强，目标反差比大，军事保密性好，可用锗光二极管在室温下探测，不需要低温，从而适用于小型化和野外。由于其具有如此多的优势，因此用1.54um波长的激光测距机代替1.064um波长激光测距机是必然的发展趋势作战效能的需要，现代军用光电系统上，都装备了夜视仪(热像仪)、光电瞄准跟踪仪、激光测机等单元。在光谱分布上，它们包括0.43-0.9um及1.54um波段。特别对机载、车载光电仪器。本课题要研究的问题是，从膜层上保证人眼安全激光测距、可见光观瞄、微光夜视(或电视跟踪)等系统共用同一窗口(物镜)的全部，而不是部分共用。我们以前镀制的膜层光谱范围为0.43-1.lum，现在的问题是要研制一种膜层，保证0.43-0.9um及1.54um波段都是高增透。这一光学薄膜工艺技术问题的解决，可以使得集可见光、微光夜视(电视跟踪)及1.54um的人眼安全激光测距功能于一体，这些波段共窗口的集成光电仪器的研制成为可能。2.1 膜料选择[1]。最终选择了三种膜料：Al2O3 、ZrO2、 MgF2。 2.2 膜系设计 目前广泛采用的三层减反膜堆是G|M2HL|A。更多层的减反膜堆大多是一次三层减反膜堆为雏形改良发展而得。它可以获得低而平坦的反射率曲线，而且各层膜的作用都比较明显，对减反膜的设计和制备有非常好的指导意义[]。 本课题将以G|M2HL|A作为初始膜系，采用经典的ABA对称的结构替代原来的中间层（2H）层，设计出了G/M2H2M2H2M2HL/A膜系，其中H代表光学厚度为高折射率材料Zr