真空精密工作台结构设计.docVIP

本科学生毕业论文 真空精密工作台结构设计 系部名称： 机电工程学院 专业班级：机械设计自造及其自动化07-9班 学生姓名： 指导教师： 陈佳莹 职 称： 讲 师 黑 龙 江 工 程 学 院 二○一一年六月  The Graduation Thesis for Bachelors Degree The Structure Design of Vacuum Precision Worktable Candidate：Ge Lipeng Specialty：Mechanical Design and Manufucture Atuomation Class：07—09 Supervisor： Heilongjiang Institute of Technology 2011-06·Harbin  摘 要 光刻机工作时所要达到得很高的精度，对机械系统的传动机构和导轨都有很高的要求，因此，一般的滑动导轨的丝杠都不能满足这些要求。基于此，本课题采用了具有高精度，高平稳性的空气轴承来代替传统的导轨，传动件则采用精度很高的滚珠丝杠，以滚动代替普通丝杠滑动来提高精度，从而保证光刻机的加工精度。兼之电子束正常工作时的高真空度给抽