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001-典尚设计-三维动画效果图
PCW (Pocess Cooling Water Sys.)
制程冷却水系统
一.系统用途:供应制程设备所需的冷却水,行能量交换,带走设备机台所产生的热量。另一用途为CDA系统采用水冷空压机时,当作冷却水源。
二.主要设备:缓冲槽、制程冷却水泵、热交换器、过滤器。
控制方式:泵浦 1、变频 2、一般
最好用变频泵浦,因为其节能效果好;延长设备的使用寿命;保证生产工艺稳定,提高产品的质量;提高电机水泵运行可靠性。
三.设计准则:
1、缓冲槽
其最小容积为停机时,管线上的制程冷却水回流至缓冲槽的水量。
2、泵浦
依业主提供之量使用点压力,选用合适的流量和扬程。
管线筛选: 1)流速
泵出口:6~10 ft/sec
泵入口:4~7 ft/sec
Header: 4~8 ft/sec
立管:4~10 ft/sec
一般:5~10 ft/sec
2)管摩擦损失
每米 0.04~0.05 米
四.设计步骤和注意事项
1.缓冲槽
设置地点
制程机台有背压要求时,设于比机台低或者同层。
制程机台无背压要求时,则设置地点无限制。(背压的计算为从制程机台出口至缓冲槽间的摩擦损失及高程差)。
水源
水质要求根据业主要求而定,原则上以DI或RD水当水源,另以自来水为紧急供水。
材质
不锈钢或FRP制,且槽外需保冷。
2.泵浦
制程机台对PCW需求有一定的压力,所以PCW泵浦扬程通常都很大,选用多段直立离心式泵比较常用。
泵浦接液部分以不绣钢材质较常用。
3.热交换器
一次侧(冰水侧)的进口温度,以冰水主机选用的进出口温度为准。
二次侧(PCW侧)的进出口温度,以业主提供的制程机台PCW进出口温度为准。(若业主无法提供,则以20℃进热交换器,15℃出热交换器为设计依据)
4.过滤器
过滤精度视业主需求而定
材质为不锈钢
型式为袋滤机,非Y-strainer
附差压计
5.管线筛选
依流量、流速、管摩擦损失可筛选合适的管径。
管材通常使用不锈钢(SUS 304),PVC SCH.80及镀锌碳钢管也有人用。
二.1.以下是H1-1F机房布置平面图和剖面图
H1-F1机房布置图
H1-F1机房布置剖面图
离心水泵的选取:
Centrifugal Water Pump(离心水泵) 假设参数:Q =1700 LPM, H=40M
根据离心泵H-Q性能曲线,选取水泵 型号 NK80-400
电机 功率18.5Kw 型号 MMG180M-E
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