真空蒸发镀膜PPT.pptVIP

2.1.1;2;7;Pν—饱和蒸汽压，Hν－摩尔汽化热/蒸发热，Vg－气相的摩尔体积， Vs－固/液相的摩尔体积。 因为Vg＞＞Vs，上式变为;(2 ? 4); (2 ? 11); 2.1.5 蒸发分子的平均自由程与碰撞几率 ;由上图看出，平均自由程要远大于实际行程（源－基板间距），碰撞几 率才能有效降低。;(2 ? 18);2.2; 2.2.1 点蒸发源 ;(2 ? 24);2.2.1 小平面蒸发源;20;(2 ? 35);22;23;24;25;26;27;28; 2.2.7 蒸发源与基板的相对位置配置 点蒸发源与基板的相对位置 从薄膜厚度公式2-25知道，只要cosθ＝1，即基板处于以点源为中 心的球面上，t就是常数。所以球面布置就基本满足了膜厚的均匀性。;30;31;内容小结;2.3;33;34;35;36;37;38; 2.3.2 电子束蒸发源 ?工作原理 阴极灯丝发射电子后，受阳极的吸引而被加速，获得动能后轰击到处于 阳极的蒸发材料上，使蒸发材料加热气化，从而实现镀膜。 若不考虑发射电子的初速度，那么被电场加速后的电子动能就等于初始 位置电子的电势能：;40;41;42;43;44;45;46;47;? 饱和蒸汽压与温度的关系:;?;4;而总压为：;合金的蒸发：;p’A p’B 是未知数，利用拉乌尔定律进行估算，即：;于是有：;例如：镍铬合金，组分为80％Ni＋20％Cr，在1527℃，PCr＝10Pa， PNi＝1Pa，则二者的蒸发速率之比为：;10;11;12;13;14;15;16;17;18;19;20;21;22;23;24;25;26;27;28;2.5;30;31;32; 2.5.2 称重法 ?微量天平法——用天平直接测量沉积在基片上的薄膜质量- 具体做法是：将微量天平放在真空室内，把蒸镀的基片吊在天平横梁的 一端，随着薄膜的沉积，天平会发生倾斜，测出倾斜度，求出薄膜的积 分堆积量，再换算成厚度。得到质量膜厚。 如果积分堆积量为m，蒸镀膜的密度为ρ（一般用块体材料的值），基 片上的蒸镀面积为A，则薄膜厚度为:;34;35;石英晶体的固有振动频率f、波长λ、速度υ之间的关系是： υ = λf (2 ? 72) 石英晶片的厚度为t，对基波而言，波长λ为 λ = 2t (2 ? 73);37;38;39;40;(2?80);42;43; 等色干涉条纹法 与等厚法不同的是:薄膜与上方的平面镜平行放置，光源使用非单色光。 不再出现等厚干涉条纹，而用光谱仪分析干涉极大的出现条件。;45;具体有两种测量方式： （1）单色光入射，改变入射角度，满足干涉条件，θ是薄膜内的折射角;47;?