集成工艺中湿法刻蚀对锆钛酸铅性能的影响.pdfVIP

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第9卷第4期 纳米技术与精密工程 v01.9No.4 加11年7月 Na∞蛔蛔olo留andP他cisi帅Engin∞rt呜 Jtll. 201l Effect0fWet on 0fLead EtcllingPrope埘es Proce鹋 DuringIIltegration ZHANG Ming-ming,JIAze,YINCong,WANGLin·kai,RENTi肌·ling I面啪ali鲫sci即ce绷d 100084,Chi触) (NationalLabo随啤for 1kh∞lo舒,Tsingll腿uI-iversity,BeijiIlg lIBadz溉oIlium ofsol- Alx打act:Amorphous锄dpolycrystalline tit肌ate(PzI.)fillns prep衄斑by眦蛐s wereetchedintod娲rent withtlle of岫etched en. gel sizes.Comparedpmpenies PzT,一ari枷伽锄d dur甜lce ofP万rwerefoundto afbrwet 0f d锄- pmperties degrade etchingproce8s.Mechalli8msetching surf.ace PZT sh删 we他明捌m姐,Ⅲld陀suhs agewe咒investigated.Pha∞panem8蚰dtopologi∞of inwet tlleir smaller tIl砒,non-fb丌0electriccompI啪en协a弛fo珊edetchingprocess,粕dpennittiv畸is tll锄t}l砒0f fenmlectricdeviceand PzI.,which硎ucese&ctive印pliedvoltage蛐tlle c肌s鹤叫ariza. tiontodec陀a∞.曲er 3%ofilli妇l陀Ⅱl瑚m foundinun- 1011最ltigIlec)rcl朗,ab叽t polari殂ti∞(Pf)is etched眩r.Whileinetched moreth锄5%.Endu删1ceis‰nd毛o PzI.(1evic髓,tlle P,lo够is pml聊ty insmallerdevic鹪.既e d喇ceisabout3tiI黼 degradeIno糟8everely P,lo鹋in100¨脚×100¨肌PzT oftIlevaluefoundin vac粕ci∞访Ube in 500

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