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第40 卷 第2 期 计 算 机 工 程 2014 年2 月 Computer Engineering February 2014 Vol.40 No.2 文献标识码文献标识码：：A 文献标识码文献标识码：： 中图分类号中图分类号：：TP331 文章编号文章编号：：1000——3428(2014)02——0314——03 中图分类号中图分类号：： ·开发研究与工程应用·开发研究与工程应用·· 文章编号文章编号：： —— —— —— ··开发研究与工程应用开发研究与工程应用·· 用于验证工艺开发包的测试芯片自动生成用于验证工艺开发包的测试芯片自动生成流程流程 用于验证工艺开发包的测试芯片自动生成用于验证工艺开发包的测试芯片自动生成流程流程 刘得金刘得金，史，史 峥，峥，胡龙跃胡龙跃 刘得金刘得金，，史史 峥峥，，胡龙跃胡龙跃 (浙江大学超大规模集成 电路设计研究所 ，杭州 310027) 摘摘 要：要 ：在工艺开发包的验证过程中，需要手动地在版图编辑器中对参数化单元进行实例化和摆放绕线，由此产生大量测试芯片。 摘摘 要要 ：： 为此 ，提出一种用于验证工艺开发包的测试芯片 自动生成流程，采用软件接口产生 Skill 脚本和工艺开发包交互，以获取工艺开发 包的信息、发送命令对工艺开发包进行操作的方法，能自动地对参数化单元予以实例化，自动地摆放绕线，并实现测试芯片版图 的布局规划。用该软件接口针对某代工厂的 40 nm 半导体工艺开发包开发一套测试芯片，产生一条测试芯片的平均时间为 5.2 s 左 右，结果证明该方法是有效的 ，能缩短工艺开发包的验证时间。 关键词关键词：工艺： 开发包 ；测试芯片；参数化单元；实验数据设计 ；可制造性设计 ；电子设计自动化 关键词关键词：： Test Chip Automatic Generation Flow for Process Development Verification LIU De-jin, SHI Zheng, HU Long-yue (Institute of VLSI Design, Zhejiang University, Hangzhou 310027, Chi