电子科技大学微固学院电子薄膜实验报告.pdfVIP

电子科技大学 实 验 报 告 学生姓名：XXXXXX 学 号：XXXXXXXXXXXXX 指导老师：赵晓辉 日 期：2017 年12 月28 《综合课程设计A—薄膜温度传感器的制作》实验报告 一、实验室名称： 电子薄膜制备实验室 （211 楼603） 二、实验项目名称： 薄膜温度传感器的制作 三、实验原理： 真空的获得： 机械泵：转子偏心地置于定子内，旋片上有弹簧，整个部件浸于机械泵油 中，油起润滑和密封作用。旋片转动一周后，通过容积变化，压强相应变化 机械泵的工作原理图 v P  P 1 0 v v 经n 个循环后 n  v  P  P n 0   v v  扩散泵：扩散泵油被加热后沿喷嘴向下喷射，速度可达200m/s，由空气动 力学原理与进气口形成压力差，使气体向下扩散而被抽走，油蒸汽水冷后重新 利用。 扩散泵的工作原理图 1 / 6 《综合课程设计A—薄膜温度传感器的制作》实验报告 真空的测量： （1）热偶规工作原理：低气压下，气体传导的热量与压强成正比，即热电偶测 4 量线温度的变化（测量范围10 —1 Pa ）。 （2）电离规工作原理：类似于一真空三极管，灯丝发射电子使气体电离，气体 分子电离的多少与气体分子密度成正比，即与压强成正比，收集极收集离子数 -6 -1 的多少，即可知压强P 的大小 （测量范围10 —10 Pa）。 薄膜制备方法及设备原理构造： 蒸发镀膜法： 阻蒸箱式镀膜机结构如下图所示 真 空 室 充气阀 高阀 予阀 扩散泵 底阀 截放阀 机械泵 250-阻蒸箱式镀膜机结构示意图 实验通过机械泵-扩散泵二级泵抽真空，先通过机械泵抽取较低真空，再用 扩散泵抽取更低的真空，使蒸发产率更高。 在真空度达到要求后，进行阻蒸镀膜。蒸发过程中若发现真空度基本稳定 后，等真空度再次变大随后又慢慢恢复时，即代表蒸发过程结束，此时可以停 止蒸发。 溅射镀膜法： 溅射系统结构如下图所示 电 离 规 真 空 室 氩气 充气阀 予阀