传感器原理及应用第三版第5章.ppt

传感器原理及应用 第五章 压电式传感器 第5章 压电式传感器 压电式传感器是一种典型的有源传感器（或发电型传感器）。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用越来越广泛。 衣服也能发电 第5章 压电式传感器 5－1 压电效应 5－2 压电材料 5－3 压电式传感器的测量电路 5－4 压电式传感器的应用 5－1 压电效应 压电效应 某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷（电荷Q与所施加的力F成正比 ）；当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电陶瓷、压电半导体等。 逆压电效应 若在电介质的极化方向上施加交变电压，它就会产生机械变形。当去掉外加电场时，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应（电致伸缩效应）。 石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当施加静态力时，在初始瞬间，产生与力成正比的电荷，但由于表面漏电，所产生的电荷很快泄漏，并消失。 一 石英晶体的压电效应 石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶（SiO2） 它的每个晶胞中有3个硅离子和6个氧离子，一个硅离子和两个氧离 子交替排列（氧离子是成对出现的）。沿光轴看去，可以认为是正 六边形排列结构。属于六角晶系。下图是天然石英晶体的外形图， 它为规则的六角棱柱体。石英晶体有三个晶轴：Z轴又称光轴，它与 晶体的纵轴线方向一致（有折光效应，没有压电效应）；X轴又称电 轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴；y轴又称机械轴， 它垂直于两个相对的晶柱棱面。 从石英晶体上切割出一块平行六面体的切片，再进一步从该正六面体上切割出正方形薄片，就是工业中常用的石英晶片。正方形薄片的6个面分别垂直于光轴（z轴）、电轴（x轴）和机械轴（y轴）。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 天然石英晶体的x、y轴向受力产生电荷比较 1.在晶体的弹性限度内，在x轴方向上施加压力Fx时，在x面上产生的电荷为：Q=d11Fx 式中 的 d11称为压电常数。 2.在y轴方向施加压力Fy时，仍然在x面上产生电荷： 式中的 l、t为石英 晶片的长度和厚度。 压电效应的微观分析未受力时石英晶体的正负电荷中心重叠，从宏观上看，整体不带电 1－正电荷等效中心 2－负电荷等效中心 晶体沿x面受压力时的带电情况分析石英晶体的正负电荷中心分离，宏观上看，x面的上表面带正电，下表面带负电 1－正电荷等效中心 2－负电荷等效中心 晶片沿x面受拉力时，或是所受压力消失后，弹性体反弹时，也能导致石英晶体的正负电荷中心分离, x面的上表面带负电,下表面带正电。受交变力时，产生交变电信号。 1－正电荷等效中心 2－负电荷等效中心 交变外力作用在压电元件上，可以产生交变的电荷Q，在上下镀银的表面上产生交变电压。 交变电荷源两端并联一个极间电容Ca和漏电电阻Ra 。极间电容Ca约为1000pF数量级，与压电片的面积成正比；漏电电阻Ra应大于1MΩ。 外力作用在压电元件上，虽然可以产生电荷Q，但在上下镀银电极之间总是存在泄漏电阻Ra，电荷的保存时间通常小于几秒,而且要求放大器的输入电阻Ri无限大,因此压电式传感器不能用于静态力的测量。 逆压电效应 如果在压电材料的两个电极面上施加交流电压，那么压电片能产生机械振动。即：压电片在电极方向上有伸缩的现象，称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。 沿y面受压力时,石英晶体的正负电荷中心也产生分离, x面的上表面带负电,下表面带正电 y面受压力时的带电情况等效于沿x轴方向施拉力的情况。但产生的电荷量可能比沿x轴方向施拉力时的电荷量大几倍，视晶片的长度与厚度之比 l/t的倍数而不同。 沿y面受拉力时,石英晶体的正负电荷中心也产生分离, x面的