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第26卷第2期 常州大学学报(自然科学版) V01．26No．2
of Science
2014年4月 Journal Edition)
Chang互houUIliversit)r(Natural Apr．2014
文章编号：2095—0411(2014)02一0018一04
氧化辅助脱合金法制备CuzO多孔纳米结构薄膜
蒋美萍，王红红，刘 阳，苏江滨
(常州大学数理学院，江苏常州213164)
摘要：采用课题组新发展的氧化辅助脱合金(0AD)技术，对由磁控溅射设备在不锈钢衬底上沉积的Cuo．54AI¨6合金薄膜进行
化学腐蚀处理，从而得到Cu，O多孔纳米结构薄膜。利用粉末X射线衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对腐蚀产物的
晶体结构、微观形貌和化学成分进行了表征分析。研究结果表明，腐蚀产物为一大面积且均匀的Cu；O多孔纳米结构薄膜，它
主要由片状结构的Cus0，和棒状结构的Cu20共同组成。进一步地，对Cu。0多孔纳米结构薄膜的形成机理进行了初步探讨。
关键词：Cu：o；多孔纳米结构薄膜；氧化辅助脱合金法；化学腐蚀
485
中图分类号：O484．5；O 文献标识码：A doi：10．3969／j．issn．2095—0411．2014．02．006
Fabricationof PorousNanostructure—Films
C虬o by
oxidation—AssistedMdhod
Dealloying
JIANG
Mei—ping，WANGHong—hong，LIUYang，SUJiang-bin
(SchoolofMathematicsand 213164，China)
Physics，ChangzhouUniversity，Changzhou
Abstract： films，whichwere onstainlesssteelsubstrates
Cuo．s4Alo．46alloy codeposited bymagnetronsput—
corroded to
oxidation—assisted obtain
tering，werechemicallyby dealloying(OAD)methodCu：0porous
The
nanostructure—films(PNFs)．structure，surface chemical of
crystal morphology，andcomposition
thecorrosion were a diffractometer(XRD)，aelectron
productsinvestigatedbypowderX—ray scanning
atransmissionelectron Itwasfoundthatthecorrosion
microscope(SEM)and microscope(TEM)．
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