Al oxynitride interfacial layer investigations for PrXOY on SiC and Si art英文文献.pdfVIP

下载本文档

5
0
约3.56万字
约 6页
2018-02-05 发布于四川
举报
版权申诉

Al oxynitride interfacial layer investigations for PrXOY on SiC and Si art英文文献.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

Home Search Collections Journals About Contact us My IOPscience Al-oxynitride interfacial layer investigations for PrXOY on SiC and Si This article has been downloaded from IOPscience. Please scroll down to see the full text article. 2008 J. Phys.: Conf. Ser. 94 012004 (/1742-6596/94/1/012004) View the table of contents for this issue, or go to the journal homepage for more Download details: IP Address: 39 The article was downloaded on 17/01/2011 at 01:56 Please note that terms and conditions apply. Interfacial Nanostructures in Ceramics: a Multiscale Approach IOP Publishing Journal of Physics: Conference Series 94 (2008) 012004 doi:10.1088/1742-6596/94/1/012004 Al-Oxynitride interfacial layer investigations for Pr O on SiC X Y and Si K Henkel, K Karavaev, M Torche, C Schwiertz, Y Burkov and D Schmeißer Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Angewandte Physik-Sensorik, K.- Wachsmann-Allee 17, 03046 Cottbus, Germany henkel @tu-cottbus.de Abstract. We investigate the dielectric properties of Praseodymium based oxides Pr O by X Y preparing MIS (metal insulator semiconductor) structures consisting of Pr O as a high-k X Y insulating